[实用新型]太阳能硅片扩散装置

权利要求书

1.一种太阳能硅片扩散装置，包括炉体管(1)及设置于该炉体管(1)内的喷淋管(2)，所述喷淋管(2)的底部沿长度方向间隔布置有若干个喷淋孔(21)，其特征在于：所述炉体管(1)上侧的内壁上成型有供喷淋管(2)穿过的定位环(11)，所述喷淋管(2)底部具有三排沿长度方向布置的喷淋孔(21)，所述喷淋管(2)上外侧两排喷淋孔(21)孔心轴之间的夹角(α)为105°～115°，同一排所述喷淋孔(21)中相邻两喷淋孔(1)的孔心距为4.74～4.78mm；所述炉体管(1)内腔的中部设置有沿长度方向布置的尾部进气管(3)，所述炉体管(1)底部的内侧设置有尾部出气管(4)及温度测量件(5)。

2.根据权利要求1所述的太阳能硅片扩散装置，其特征在于：所述喷淋管(2)的外周设置有一能将该喷淋管(2)与炉体管(1)之间密封连接的连接塞(22)，该连接塞(22)的外周套设有一密封套。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能硅片扩散装置，其特征在于：所述喷淋管(2)上靠近进液端设置有与喷淋孔(21)相对应的便于装配的磨砂部(20)。

4.根据权利要求1或2所述的太阳能硅片扩散装置，其特征在于：所述的喷淋孔(21)分布为自喷淋管(2)的进液端依次向后布置的第一喷淋区(23)、第二喷淋区(24)及第三喷淋区(25)，所述第一喷淋区(23)中喷淋孔(21)的孔径为0.4mm，所述第二喷淋区(24)中喷淋孔(21)的孔径为0.5mm，第三喷淋区(25)中喷淋孔(21)的孔径为0.6mm。

5.根据权利要求1或2所述的太阳能硅片扩散装置，其特征在于：所述喷淋管(2)的外径(R1)为14mm，所述炉体管(1)上定位环(11)的内径(R2)为18mm。