[实用新型]一种带防静电涂层的考夫曼电源

说明书

技术领域

本发明涉及一种新型离子源，特别涉及一种带防静电涂层的考夫曼电源。

背景技术

离子束薄膜沉积和离子束材料改性技术是材料科学的一个重要分支，离子束技术的研究和推广取得了巨大的成就。目前，离子源的种类很多，Kaufman(考夫曼)离子源是使用较为广泛的对薄膜进行离子束轰击的装置，该装置的基本工作原理为：首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，然后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来，这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。

在实际操作过程中，真空室充满金属离子，尤其是离子源附近。由于屏级和加速电极的静电作用，在两器件之间缝隙沉积金属砰屑。沉积的金属碎屑经常引起电路短路。

发明内容

为解决上述实际问题，本实用新型提供一种带防静电涂层的考夫曼电源。防止屏级和加速电极之间的金属离子静电吸附。

一种带防静电涂层的考夫曼电源，包括进气口、阴极、阳极、放电室、磁棒、屏极、加速极、中和灯丝，其特征在于：加速电极靠近屏极的表面涂覆防静电涂层。

所述防静电涂层为金属氧化物，有防静电功能。

本实用新型有益效果：

防静电涂层能够消除加速电极的金属离子沉积，能够消除由于金属沉积造成的短路现象。

附图说明

图1为本实用新型结构图

具体实施方式

如图1所示离子源结构图，它由放电室和离子引出系统两部分组成，其工作原理与现有考夫曼离子源工作原理相同。阴极2位于放电室中央，与阳极3共同作用，在工作电压下发射电子。引出系统采用双栅极系统，由一个屏极6与一个加速极7组成，进气口1通入惰性气体，一般采用氩气进入离子源，气体在放电室4中电离形成的离子，由双栅极系统拔出形成离子束。中和灯丝8发射电子对离子束进行中和。磁棒5在此过程中起到控制与筛选等离子体的作用。

加速电极7靠近屏极6的表面涂覆防静电涂层9。防静电涂层9一般采用具有防静电功能的金属氧化物。