[实用新型]扫描电镜样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其适用于测试薄片型样品。

背景技术

现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，样品台是扫描电镜设备的核心部件，其一般为铝制的圆形平台。在样品表面测试时，以薄片型样品为例，通常通过导电胶将样品粘贴于样品台面上做观察。而要对样品做截面测试，需要在样品台的四周贴上导电胶，再将样品贴于平台侧边上。

目前的扫描电镜在测试过程中，样品台可以通过连轴马达实现一定角度的旋转。以日立S4800型号为例，样品台可以最大倾斜30度左右。然而，在测试过程中，样品有掉落损坏机器的风险；尤其是当电子枪与样品台的工作距离较近时，大角度旋转有损坏仪器的风险。而在实际工作中，测试人员又希望能得到更大角度的视野范围，这种矛盾一直困扰着本领域的测试人员以及扫描电镜生产商。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种扫描电镜样品台。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种扫描电镜样品台，包括样品台，还包括转向柱，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。

上文中，所述样品台可以采用现有技术，用来放置样片。

优选的，所述转向柱与样品台的底部中央固定连接。

上述技术方案中，所述转向柱的一端设有螺纹，所述样品台的底部中央设有配合的螺孔。

上述技术方案中，所述底座上固设有旋转定位轴，所述转向柱的另一端套设于旋转定位轴之上；旋转定位轴上设有螺纹，其上设有配合的螺母，使转向柱旋转连接于所述旋转定位轴上。

上述技术方案中，所述旋转定位轴的中部设有凸块，所述转向柱夹在凸块和螺母之间。

上述技术方案中，所述样品台的侧面设有配合的压块，且压块弹性连接于样品台的一侧。即在样品台上构成弹性夹持结构，用来夹持样片，以便扫描电镜对样品做截面测试。当然，弹性夹持结构的尺寸应当大于待测样片的尺寸，以便将样品放入弹性夹持机构之中。

上述弹性夹持结构可以采用拉杆和弹簧的结构。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型设计了一种新的扫描电镜样品台结构，通过在样品台的底部设置转向柱，使样品台相对于底座具有旋转自由度，从而可以带动样品台连续大角度旋转，实现连续的多角度观察；

2、本实用新型具有较好的安全性，对操作人员的经验值要求不高，不必通过电镜马达实现旋转，也没有碰撞镜头的危险；

3、本实用新型在样品台的侧面设置了弹性夹持结构，可以夹持样片，实现了对样品的平面和斜面观察及检测，尤其适用于薄片型样品的截面和前表面检测；

4、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

图2是本实用新型实施例一中转向柱的侧视图。

图3是本实用新型实施例一中转向柱的主视图。

图4是本实用新型实施例一中底座和转向柱的组装结构分解图。

其中：1、底座；2、旋转定位轴；3、螺母；4、转向柱；5、拉杆；6、弹簧；7、压块；8、样品台；9、凸块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步描述。

实施例一：

参见图1~4所示，一种扫描电镜样品台，包括样品台8，还包括转向柱4，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座1上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。

所述转向柱与样品台的底部中央固定连接。所述转向柱的一端设有螺纹，所述样品台的底部中央设有配合的螺孔。

所述底座上固设有旋转定位轴2，所述转向柱的另一端套设于旋转定位轴之上；旋转定位轴上设有螺纹，其上设有配合的螺母3，使转向柱旋转连接于所述旋转定位轴上。

所述旋转定位轴的中部设有凸块9，所述转向柱夹在凸块和螺母之间。

所述样品台的侧面设有配合的压块7，且压块弹性连接于样品台的一侧。具体的，压块通过拉杆5设于样品台的侧面，拉杆上设有弹簧6，构成弹性夹持结构；参见图1所示。

转向柱4围绕旋转定位轴2连续旋转就可以带动整个样品台连续大角度旋转，旋转角度可以通过螺母3来固定。