[实用新型]一种快速生长无包裹物碳化硅单晶的生长室有效
| 申请号： | 201520285511.2 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN204570085U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;高玉强;宋建;张志海;刘家朋;张红岩;李加林 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻;杨婷 |
| 地址： | 250000 山东省济南市历下区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 生长 包裹 碳化硅 | ||
【权利要求书】：
1.一种快速生长无包裹物碳化硅单晶的生长室，生长室内壁顶部设有籽晶托(1)，其特征在于：生长室内部套有与生长室同轴且顶端低于生长室顶端的内筒，所述的内筒由石墨滤网(2)围绕而成；内筒顶端外沿与生长室内壁之间设有石墨滤网(2)；所述的石墨滤网(2)两侧表面均涂有耐高温金属化合物涂层(3)；
所述的耐高温金属化合物涂层(3)选自稀有金属的碳化物或稀有金属的氮化物或其混合物；
所述的稀有金属选自钽或铪或铌或钛或锆或钨或钒。
2.根据权利要求1所述的快速生长无包裹物碳化硅单晶的生长室，其特征在于：所述的石墨滤网(2)的孔径小于10微米。
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