[实用新型]微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器有效
| 申请号： | 201520283932.1 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN204873818U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 傅刚;高升谦;刘志宇 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹簧 悬臂梁 均热 加热器 | ||
1.一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：
包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；
所述硅基座中部设有通孔，所述绝缘膜覆盖在所述基座及其通孔上，其中所述绝缘膜覆盖在所述通孔上的部分设有空气隙而形成悬臂梁；
所述加热单元包括加热丝和电极，所述加热丝设于所述悬臂梁上，所述电极设于所述绝缘膜上；
所述均热板位于所述通孔中，并连接于所述悬臂梁的下方。
2.如权利要求1所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述绝缘膜包括由第一绝缘膜构成的压应力层和由第二绝缘膜构成的张应力层。
3.如权利要求2所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述压应力层由SiO2制成，所述张应力层由SixNy或SiC制成。
4.如权利要求1所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述悬臂梁包括一条以上悬臂，所述悬臂整体为呈直角的二次弯折结构。
5.如权利要求4所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：一条以上所述悬臂组成的所述悬臂梁呈整体右旋或者左旋结构，旋转中心位于所述通孔中心。
6.如权利要求1所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述加热单元由铬或铂制成。
7.如权利要求1所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述均热板由单晶硅制成。
8.如权利要求1所述的微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：所述硅基座由100晶向单晶硅制成。
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