[实用新型]微机电系统麦克风芯片、麦克风和电子设备

权利要求书

1.一种微机电系统麦克风芯片，其特征在于，它包括：第一振动膜、第一隔离层、背极、第二隔离层和第二振动膜，其中，第一振动膜通过第一隔离层被固定到背极的第一表面，由第一振动膜、第一隔离层和背极的第一表面形成第一空腔，第二振动膜通过第二隔离层被固定到背极的第二表面，以及由第二振动膜、第二隔离层和背极的第二表面形成第二空腔。

2.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风芯片，其特征在于，所述背极包括至少一个通孔，以及所述第二振动膜包括至少一个通孔。

3.根据权利要求1或2所述的微机电系统麦克风芯片，其特征在于，它还包括连接柱，用于穿过第一空腔、背极和第二空腔连接第一振动膜和第二振动膜。

4.根据权利要求1或2所述的微机电系统麦克风芯片，其特征在于，它还包括用于输出信号的第一电极和第二电极，其中，第一振动膜和第二振动膜共同连接到第一电极，以及背极连接到第二电极。

5.根据权利要求1或2所述的微机电系统麦克风芯片，其特征在于，它还包括用于输出差分信号的第三电极、第四电极和第五电极，其中，第一振动膜连接到第三电极，第二振动膜连接到第四电极，以及背极连接到第五电极。

6.根据权利要求1或2所述的微机电系统麦克风芯片，其特征在于，它还包括硅衬底和第三隔离层，其中第一振动膜或第二振动膜被接合到第三隔离层上，以及第三隔离层被接合到硅衬底上。

7.一种微机电系统麦克风，其特征在于，它包括：封装外壳和根据权利要求1所述的微机电系统麦克风芯片，其中，封装外壳包括声波的入口，以及该微机电系统麦克风芯片被安装在封装外壳中。

8.一种电子设备，其特征在于，它包括根据权利要求7所述的微机电系统麦克风。