[实用新型]用于等离子反应装置的衬套单元

权利要求书

1.一种用于等离子反应装置的衬套单元，其特征在于，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及一第二腔体，所述衬套单元包含：

一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及

一第二连接部，用于与所述第二腔体的一对接部对接，所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。

2.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述第一连接部的横向边长尺寸小于所述第二连接部的横向边长尺寸。

3.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述衬套单元的所述第一连接部与所述第一腔体结合后，所述衬套单元的所述第二连接部突伸出所述第一腔体的一第一端口，并且所述第二连接部收容于所述第二腔体之内。

4.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述第一连接部的横向边长尺寸大于所述第二连接部的横向边长尺寸。

5.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述衬套单元的所述第一连接部与所述第一腔体结合后，所述第二腔体的所述对接部突伸入所述衬套单元，并且收容于所述衬套单元之内。

6.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述等离子反应装置包含一第三腔体，并且所述衬套单元进一步包含一第三连接部，相对于所述第二连接部，所述衬套单元连贯所述第二腔体并且所述第三连接部用于与所述第三腔体的一对接部连接。

7.如权利要求6所述的衬套单元，其特征在于，所述第一连接部及所述第三连接部两者的横向边长尺寸不同。

8.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述第一连接部和所述第二连接部两者至少其中之一包含环形结构或其他几何结构。

9.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述衬套单元进一步包含一第一衬套和一第二衬套，所述第一衬套和所述第二衬套分别包含用于与所述第一腔体连接的所述第一连接部和用于与另一腔体连接的所述第二连接部，所述第一衬套的所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同，以及所述第二衬套的所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。

10.如权利要求9所述的衬套单元，其特征在于，所述第一衬套和所述第二衬套分别包含结构互补的第三连接部，并且当所述第一衬套和所述第二衬套分别与所述第一腔体结合后，所述第一衬套和所述第二衬套的所述数个第三连接部互相接合。

11.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，所述衬套单元进一步包含多个衬套，所述多个衬套分别包含用于与所述第一腔体连接的所述第一连接部和用于与另一腔体连接的所述第二连接部，所述多个衬套的所述第一连接部及第二连接部两者的横向边长尺寸不同。

12.如权利要求1所述的衬套单元，其特征在于，当所述衬套单元的所述第二连接部与所述第二腔体的所述对接部对接后，所述第二连接部与所述第二腔体之间形成一容置空间，用于容置一气密元件。

13.如权利要求12所述的衬套单元，其特征在于，所述衬套单元的所述第二连接部形成为一阶梯状，包含一第一阶、一第二阶和一第三阶，当所述衬套单元的所述第二连接部与所述第二腔体的所述对接部对接后，所述第二腔体的所述对接部与所述第一阶的一第一水平阶梯面和所述第三阶的一第三水平阶梯面连接，并且与所述第二阶共同形成容置所述气密元件的所述容置空间。

14.一种用于等离子反应装置的衬套单元，其特征在于，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及多个第二腔体，所述衬套单元包含：

一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及

多个第二连接部，用于分别与所述多个第二腔体的一对接部对接，所述第一连接部及每一所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。