[实用新型]一种研磨盘平整度测量工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种研磨盘平整度测量工具，是一种用于测量铸铁研磨盘平整度的测量工具。

背景技术

在晶体材料加工过程中，通常需要对晶体材料进行研磨加工。研磨是介于切割和抛光之间的一道工序，目的是为了去除切割刀痕和晶片减薄，通常是采用铸铁研磨盘进行研磨。在研磨过程中铸铁研磨盘会产生形变，研磨碳化硅、蓝宝石等硬脆材料时变形尤为严重。为了保证上下盘的平整度保持在一定范围内，需要每天测量研磨盘盘面平整度，检测盘面是否达到平整度要求。

目前，对研磨盘上盘进行平整度测量的方法是：先用布将盘面擦干净再用气枪吹干，测量需要三人同时操作，两个人将平整度测量仪举起紧贴在上盘盘面，一人用塞尺进行测量。由于平整度测量仪较重，抬举时比较费力，用力不均匀会影响测量精度，对晶片的研磨带来安全隐患，并且浪费人力。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种能够实现单人操作、测量精度高、能有效避免研磨盘不平而导致晶片破损的研磨盘平整度测量工具。

本实用新型是通过如下技术方案来实现的：一种研磨盘平整度测量工具，其包括带有可升降的升降杆的升降支架、卡槽、平整度测量仪，所述升降杆顶端安装有万向节轴承，所述卡槽下部与所述万向节轴承连接，所述平整度测量仪设置在所述卡槽内。

本实用新型中，由于卡槽通过万向节轴承连接在升降杆的顶端，因此卡槽可以在一定角度范围内进行摆动，设置在卡槽内的平整度测量仪可随之进行摆动。使用本实用新型进行测量时，将平整度测量仪放置于卡槽内，操作升降支架使其升降杆升起，将平整度测量仪上升至研磨盘上盘盘面，通过万向节轴承可以调节平整度测量仪与上盘盘面吻合。调节平整度测量仪与研磨盘上盘盘面垂直度，使得平整度测量仪与上盘盘面紧密结合，用相应厚度塞尺插入平整度测量仪与研磨盘盘面结合处，通过塞尺检测盘面是否合格。

利用本实用新型进行测量时，对研磨盘盘面的清理可通过人工手动清理，为了提高效率，本实用新型在所述平整度测量仪内设有沿其长度方向设置的进气孔道，所述进气孔道的一端通于平整度测量仪的外部，所述平整度测量仪的上端面设有若干个与所述进气孔道相通的出气孔。测量时，可通过平整度测量仪的进气孔道通入压缩空气，压缩空气自平整度测量仪上的出气孔吹出，吹向研磨上盘的盘面，将上盘盘面的研磨液吹净，便于精确测量。

为了保证平整度测量仪与卡槽之间的固定，所述平整度测量仪与所述卡槽之间设有顶丝。

本实用新型中的升降杆的升降可采用现有技术中的任何可升降的结构形式，考虑到结构设计的简单和可靠性，所述升降支架的升降杆通过螺纹进行升降。

进一步的方案是，为了便于对升降杆进行升降操作，所述升降杆上设有升降把手。通过升降把手可方便地转动升降杆。

本实用新型结构简单，操作方便，能够保证测量准确度，能有效避免研磨盘不平而导致的晶片破损，且可以实现单人操作，省时省力。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中的平整度测量仪的剖视示意图；

图3是本实用新型中的卡槽的剖视示意图；

图中，1是升降支架，2是升降把手，3是顶丝，4是平整度测量仪，5是研磨盘上盘，6是出气孔，7是进气孔道，8是卡槽，9是万向节轴承，10是升降杆，11是底座。

具体实施方式

下面通过非限定性的实施例并结合附图对本实用新型进一步的说明：

如附图所示，一种研磨盘平整度测量工具，其包括升降支架1、卡槽8、平整度测量仪4，升降支架1设有可升降的升降杆10，升降杆10通过螺纹进行升降，升降杆10上设有升降把手2。升降支架1整体固定在底座11上。在升降杆10的顶端安装有万向节轴承9。卡槽8为U形件，卡槽8的下部与万向节轴承9连接，万向节轴承9可带动卡槽8在一定角度范围内摆动。平整度测量仪4设置在卡槽8的U形槽内，卡槽8侧面设有顶丝3，通过顶丝3可对平整度测量仪4进行固定。所述平整度测量仪4内设有沿其长度方向设置的进气孔道7，该进气孔道7的一端通于平整度测量仪4的外部，在平整度测量仪4的上端面设有若干个与所述进气孔道7相通的出气孔6。