[实用新型]一种晶体炉随炉退火装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体加工装置，具体是一种晶体炉随炉退火装置。

背景技术

现有的晶体生长炉，在晶体提拉时需要不断的对晶体附近的温度进行变换，工作繁琐，生产效率较低，且晶体在整个提拉过程中温度变化不均匀，晶体容易开裂，成品率较低，在规模化生产中影响了企业的生产效益。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体炉随炉退火装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机、加热丝、隔流板、温度显示器、导热油、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片，所述搅拌叶片与搅拌电机连接，所述搅拌电机位于晶体生长炉上，且搅拌电机的外侧设有隔热层，所述外保温筒的左侧上部设有导热油补充管，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述外保温筒由隔热保温材料制成，内保温筒由导热材料制成。

作为本实用新型进一步的方案：所述隔流板由隔热材料制成。

作为本实用新型进一步的方案：所述一号热电偶与二号热电偶在同一水平线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在晶体生长炉的晶体提拉口嵌套设置内外保温筒，且在内外保温筒的内部交错设置隔流板，并且灌装入导热油，既可以使得晶体提拉时温度不会骤变，减少了晶体内部的热应力，且通过搅拌电机将加热丝的热量向上方通过隔流板阻隔后进行阶段传送，便于晶体提拉，到达内外保温筒的口沿时接近室温即可取出晶体，无需单独的升降温操作，效率得以提高，通过热电偶进行温度监测，并通过温度显示器显示，利于对换热效率和温度状况进行分析，进一步提高晶体成品率，此外，在搅拌电机的外侧设置隔热层，可以避免搅拌电机高温损坏，延长使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型实施例中，一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机1、隔热层2、搅拌叶片3、加热丝4、隔流板5、温度显示器6、一号热电偶7、二号热电偶8、晶体9、导热油补充管10、导热油11、外保温筒12、内保温筒13和晶体生长炉14，所述晶体生长炉14的上方设有内保温筒13，所述内保温筒13的外侧嵌套密封设有外保温筒12，且外保温筒12由隔热保温材料制成，内保温筒13由导热材料制成，可以通过外保温筒12进行保温，避免热量散失，通过内保温筒13将热量传递到晶体9的区域，所述外保温筒12与内保温筒13的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒12与内保温筒13的内部设有导热油11，通过导热油11进行传热，所述外保温筒12与内保温筒13的内部交错均匀设置若干隔流板5，所述隔流板5由隔热材料制成，通过隔流板5对导热油11进行分段隔热，以适应晶体9的不同温度段需要，所述隔流板5的下侧于外保温筒12的内壁上设有环状加热丝4，通过加热丝4对导热油11进行加热，所述加热丝4的下方于外保温筒12与内保温筒13的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片3，所述搅拌叶片3与搅拌电机1连接，通过搅拌电机1驱动搅拌叶片3转动，所述搅拌电机1位于晶体生长炉14上，且搅拌电机1的外侧设有隔热层2，通过隔热层2对晶体生长炉14进行隔热，避免搅拌电机1高温损坏，所述外保温筒12的左侧上部设有导热油补充管10，通过导热油补充管10补充损耗的导热油11。