[实用新型]一种具有五个自由度的显微机器视觉测量装置

权利要求书

1.一种具有五个自由度的显微机器视觉测量装置，其特征在于：包括底座（1），在底座（1）上固定连接有X轴移动机构和X轴移动块（7）；在X轴移动块（7）上设置有Y轴移动机构和Y轴移动块（8）；在Y轴移动块（8）上设置有绕Z轴转动的控制机构（18），该绕Z轴转动的控制机构（18）控制着绕Z轴转动的机构，并且在绕Z轴转动的控制机构（18）上设置有绕Z轴转动的机构；在绕Z轴转动的机构设置有Z轴移动机构和Z轴移动块（13）；在Z轴移动块（13）上设置有绕X轴转动的控制机构（19），该绕X轴转动的控制机构（19）控制着绕X轴转动的机构，并且在绕X轴转动的控制机构（19）上设置有绕X轴转动的机构，在绕X轴转动的机构上设置有相机支撑板（21），在相机支撑板（21）上设置CCD摄像机（22），并且该CCD摄像机（22）连接计算机。

2. 根据权利要求1所述的具有五个自由度的显微机器视觉测量装置，其特征在于：所述X轴移动机构包括X轴滑轨（4）、X轴丝杠（3）、X轴电机（2）、X轴移动块（7）；其中X轴移动块（7）与X轴滑轨（4）成滑动连接，与X轴丝杠（3）配合的X轴螺母固定在X轴移动块（7）上；

所述Y轴移动机构包括Y轴滑轨（5）、Y轴丝杠（6）、Y轴电机（9）、Y轴移动块（8）；其中Y轴移动块（8）与Y轴滑轨（5）成滑动连接，与Y轴丝杠（6）配合的Y轴螺母固定在Y轴移动块（8）上；

所述绕Z轴转动的机构包括绕Z轴转动的控制机构（18）、绕Z轴转动的平台（14）；其中Y轴移动块（8）与绕Z轴转动的控制机构（18）固定连接，绕Z轴转动的控制机构（18）上固定有绕Z轴转动的平台（14）；

所述Z轴移动机构包括Z轴滑轨（11）、Z轴丝杠（12）、Z轴电机（10）、Z轴移动块（13）；其中Z轴移动块（13）与Z轴滑轨（11）成滑动连接，与Z轴丝杠（12）配合的Z轴螺母固定在Z轴移动块（13）上；

所述绕X轴转动的机构包括绕X轴转动的控制机构（19）、绕X轴转动的平台（15）、横梁（16）、绕Z轴转动电机（17）、转动轴（20）、相机支撑板（21）；其中Z轴移动块（13）与绕X轴转动的控制机构（19）固定连接，绕X轴转动的控制机构（19）上固定有绕X轴转动的平台（15）；绕X轴转动的平台（15）上沿X轴方向固定一横梁（16），在横梁（16）上设置有绕Z轴转动电机（17），绕Z轴转动电机（17）连接转动轴（20），转动轴（20）连接相机支撑板（21）。

3.根据权利要求1或2所述的具有五个自由度的显微机器视觉测量装置，其特征在于：所述CCD摄像机（22）下装有显微摄像头，显微摄像头下连接有光源。