[实用新型]一种具有预加热功能的气体加热设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体输送领域，尤其涉及一种具有预加热功能的气体加热设备。

背景技术

随着全球电子和光伏产业的蓬勃发展，国内的半导体和光伏制造业也得到了迅猛的发展。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

目前，在半导体和光伏相关产业中，常用的制程中需要使用许多特殊气体，而某些气体在通过减压后，因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰，导致阀门及部件的寿命受损和气体的不能正常运输和供应，从而严重影响产业的效率，并导致成本的提高。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种具有预加热功能的气体加热设备，利用预加热的方式，有效的确保气体运输和供应的正常。

上述的一种具有预加热功能的气体加热设备，包括壳体和预加热系统，所述壳体为长方体结构，所述壳体的顶部设置有工艺气出口、工艺气进口以及上盖板；所述预加热系统包括接线柱、铂热电阻、过温开关、电气接头以及电气接头预留口，所述接线柱和过温开关均位于铂热电阻的周围，所述接线柱、铂热电阻以及过温开关均位于上盖板的下方的壳体内；所述电气接头和电气接头预留口分别位于壳体的两个侧壁上；所述壳体上设置有电气接头的侧壁还设置有线缆固定座。

上述设备中，所述接线柱的数量为4根。

上述设备中，所述4根接线柱按照每组2根的布局分为2组。

上述设备中，所述2组接线柱中每组接线柱的功率为600W或1200W。

上述设备中，所述过温开关的数量为2个。

上述设备中，所述过温开关的保护温度为65℃或100℃。

本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型提供了一种具有预加热功能的气体加热设备，通过在现有加热设备的基础上增加了预加热系统，从而实现了对输送气体的预加热处理，进而避免了由于温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰等情况的发生，并最终达到了确保气体运输和供应正常的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型中气体加热设备的结构示意图；

图2是图1中气体加热设备去除上盖板后的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

本实用新型记载了一种具有预加热功能的气体加热设备，包括壳体9和预加热系统。

如图1所示，壳体9采用了长方体结构且其顶部设置有工艺气出口6、工艺气进口7以及上盖板10；该工艺气出口6则作为待加热气体的出口，可选择3/8与1/2的male或Fmale的VCR；；而工艺气进口7作为待加热气体的进口，同样可选择3/8与1/2的male或Fmale的VCR；至于上盖板10则负责保护其内部的各个部件。

如图2所示，本实用新型中的预加热系统包括接线柱1、铂热电阻2、过温开关3、电气接头4以及电气接头预留口8，该接线柱1和过温开关3位于铂热电阻2的周围，且接线柱1、铂热电阻2以及过温开关3均位于上盖板10下方的壳体9的内部；

其中，接线柱1主要负责加热电源的接入，且共有四根，该4根接线柱1按照每组2根的布局分为2组。单组的功率为600W或1200W，如两组全接时则功率翻倍；而铂热电阻2则主要用于测量系统的温度，该铂热电阻2为PT100型电阻，它的阻值会随着温度的变化而改变，PT后的100即表示它在0℃时阻值为100欧姆，在100℃时它的阻值约为138.5欧姆。