[实用新型]一种沉积炉管有效
| 申请号： | 201520248650.8 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN204608156U | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 杨志平;李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 炉管 | ||
【权利要求书】：
1.一种沉积炉管，其特征在于，所述沉积炉管至少包括：外管、设置于所述外管内的内管以及设置于所述内管内的晶舟，其中，所述外管上设置有送气口及排气口，所述内管的底部开口，所述内管的顶部设置有引导气流的孔筛。
2.根据权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于：所述孔筛为双层交错出气孔结构，包括下层出气孔筛及上层出气孔筛。
3.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于：所述下层出气孔筛及所述上层出气孔筛上的出气孔均中心对称分布。
4.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于：所述下层出气孔筛的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐减小，所述上层出气孔筛的出气孔孔径由外圈朝中间逐渐增大。
5.根据权利要求2所述的沉积炉管，其特征在于：所述下层出气孔筛为凹型结构，所述上层出气孔筛为凸型结构。
6.根据权利要求5所述的沉积炉管，其特征在于：所述下层出气孔筛凹陷的弧度设定为15度～30度。
7.根据权利要求5所述的沉积炉管，其特征在于：所述上层出气孔筛凸起的弧度设定为15度～30度。
8.根据权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于：所述孔筛的材料为石英。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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