[实用新型]用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪

权利要求书

1.一种用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：第一切换阀（1）上设有第一定量管（5）、第一色谱柱（7）和第一放空针阀（16），第二切换阀（2）上设有第二定量管（6），第三切换阀（3）上设有第二放空针阀（17）、第三放空针阀（18）和检测器（4）；第一切换阀（1）和第三切换阀（3）之间设有第二色谱柱（8），第二切换阀（2）和第三切换阀（3）之间设有第三色谱柱（9）。

2.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，其特征在于：第一载气（11）气路与所述第一切换阀（1）的④号接口连接、第二载气（12）气路与所述第一切换阀（1）的⑦号接口连接；样品进口气路（14）与所述第一切换阀（1）的②号接口连接，所述第一切换阀（1）的①号接口和第二切换阀（2）的⑤号接口连接；所述第一切换阀（1）的③号接口和⑩号接口连接的管路上设有第一定量管（5）；所述第一切换阀（1）的⑤号接口和⑨号接口连接的管路上设有第一色谱柱（7）；所述第一切换阀（1）的⑥号接口和第三切换阀（3）的⑤号接口连接的管路上设有第二色谱柱（8）。

3.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，其特征在于：第三载气（13）气路与所述第二切换阀（2）的③号接口连接；所述第二切换阀（2）的①号接口和④号接口连接的管路上设有第二定量管（6），所述第二切换阀（2）的②号接口和第三切换阀（3）的③号接口连接的管路上设有第三色谱柱（9）。

4.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，其特征在于：所述的第三放空针阀（18）与第三切换阀（3）的⑥号接口连接，所述的第二放空针阀（17）与第三切换阀（3）的②号接口连接；所述的检测器 （4）与第三切换阀（3）的④号接口连接。

5.根据权利要求 1 所述的用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，其特征在于：所述的第一切换阀为十通吹扫气动切换阀，第二切换阀、第三切换阀为六通吹扫气动切换阀，检测器采用等离子体发射检测器，所有连接管道和色谱柱均采用经防腐蚀处理的零件。