[实用新型]用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在线分析气相色谱仪，特别是公开一种针对氧气和氩气中氮气的在线检测分析设备，实现了快速对氧气和氩气中氮气在的线分析。

背景技术

随着工业的飞速发展，氩气在半导体、冶金、电子以及新材料等领域应用越来越广泛，对氩气的纯度要求越来越高，其中氮气是高纯氩气主要杂质。分析氩气中氮气有许多检测方法，一般的氩中氮检测仪灵敏度只能达到ppm级，对于ppb级别杂质只能用其他方法检测，但实际应用都不是很方便快捷。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足，设计一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，是一种针对氧气和氩气中氮气的在线检测分析设备，配置了带内吹扫的隔膜阀，相对于现有技术中外吹扫切换阀，本实用新型进一步避免了外界环境干扰，提高了色谱分析结果的准确性，更符合市场需求。

本实用新型是这样实现的：一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器，其特征在于：第一隔膜阀上设有定量管，第二隔膜阀上设有第一针阀和第二针阀；第一隔膜阀和第二隔膜阀之间设有第一色谱柱，第二隔膜阀和检测器之间设有第二色谱柱。

作为优选，第一载气气路与第一隔膜阀的②号接口连接，样品进口气路与第一隔膜阀的⑥号接口连接，样品出口气路和第一隔膜阀的⑤号接口连接，第一隔膜阀的①号接口与第一隔膜阀的④号接口连接的管路上设有定量管；第一隔膜阀的③号接口和第二隔膜阀的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱。

作为优选，第二载气气路与第二隔膜阀的①号接口连接，第一针阀与第二隔膜阀的④号接口连接，第二针阀与第二隔膜阀的②号接口连接；第二隔膜阀的⑥号接口和检测器连接的管路上设有第二色谱柱。

作为优选，第一隔膜阀和第二隔膜阀是六通内吹扫隔膜阀，装置了吹扫阀芯膜片的内吹扫气路。检测器采用等离子体发射检测器（PED检测器）；第一色谱柱和第二色谱柱采用2m的5A分子筛填充柱。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过针阀放空实现中心切割；采用密闭性更好的隔膜阀，且装置了带吹扫阀芯膜片的内吹扫气路，进一步保证了气密性；采用的等离子体发射检测器保证了灵敏度达到ppb级别，本实用新型可以循环在线分析，能够快速得到分析结果，且重复性好、灵敏度高，实现了快速在线分析氧气和氩气中的氮气。

附图说明

图1  是本实用新型在线分析仪的流程示意图。

图2  是本实用新型第一隔膜阀开启时流程示意图。

图3  是本实用新型第二隔膜阀开启时流程示意图。

图中：1、第一隔膜阀； 2、第二隔膜阀； 3、检测器； 4、定量管； 5、第一色谱柱；6、第二色谱柱； 7、第一载气气路； 8、第二载气气路； 9、样品进口气路； 10、样品出口气路； 11、第一针阀； 12、第二针阀； 13、吹扫气气路进口； 14、吹扫气气路出口。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

根据附图1～3，本实用新型一种用于在线分析氧气和氩气中氮气的在线分析仪，包括样品进口气路9、隔膜阀、色谱柱、针阀和检测器3。第一隔膜阀1上设有定量管4，第二隔膜阀2上设有第一针阀11和第二针阀12；第一隔膜阀1和第二隔膜阀2之间设有第一色谱柱5，第二隔膜阀2和检测器3之间设有第二色谱柱6。

第一载气气路7与第一隔膜阀1的②号接口连接，样品进口气路9与第一隔膜阀1的⑥号接口连接，样品出口气路10和第一隔膜阀1的⑤号接口连接，第一隔膜阀1的①号接口与第一隔膜阀1的④号接口连接的管路上设有定量管4；第一隔膜阀1的③号接口和第二隔膜阀2的⑤号接口连接的管路上设有第一色谱柱5。

第二载气气路8与第二隔膜阀的①号接口连接，第一针阀11与第二隔膜阀2的④号接口连接，第二针阀12与第二隔膜阀2的②号接口连接；第二隔膜阀2的⑥号接口和检测器连接的管路上设有第二色谱柱6。

第一隔膜阀1和第二隔膜阀2是六通内吹扫隔膜阀，装置了吹扫阀芯膜片的内吹扫气路，吹扫气从吹扫气气路进口13进入第一隔膜阀1阀芯后，再经吹扫气路流通至第二隔膜阀2阀芯，然后从吹扫气气路出口14流出。检测器3采用等离子体发射检测器（PED检测器）；第一色谱柱5和第二色谱柱6采用2m的5A分子筛填充柱。

本实用新型采用中心切割，通过针阀放空氩气和氧气来实现氩气和氧气中氮气的分析。具体步骤如下：