[实用新型]溅射薄膜式土壤压力传感器有效
| 申请号： | 201520236539.7 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN204495492U | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 黎启胜;唐俐;胡绍全;刘伟;王小龙;时海亮;胡东平;王远;李代生;曾永菊;朱昌亚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 薄膜 土壤 压力传感器 | ||
1.一种溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：包括弹性敏感元件、圆环形薄壁筒、圆膜式应变片、引线转接板和密封上盖，所述弹性敏感元件与所述圆环形薄壁筒的下端固定连接，所述圆膜式应变片设置在所述圆环形薄壁筒内并与所述弹性敏感元件的内表面贴合，所述引线转接板设置在所述圆环形薄壁筒内并位于所述圆膜式应变片的上方，所述圆膜式应变片的电极点通过金丝引线与所述引线转接板下表面的转接焊接点连接，所述引线转接板上表面的转接焊接点通过信号引出线与普通信号引线连接，所述密封上盖与所述圆环形薄壁筒的上端固定连接。
2.根据权利要求1所述的溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：所述弹性敏感元件为超薄金属圆片，所述圆膜式应变片为真空溅射金属合金薄膜。
3.根据权利要求1所述的溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：所述圆环形薄壁筒内壁设置有用于固定所述引线转接板的固定支撑架，所述圆环形薄壁筒的侧壁设置有引线孔，所述引线孔位于所述引线转接板的上方，所述引线孔内设置有压线筒，所述普通信号引线穿过所述压线筒与所述引线转接板连接。
4.根据权利要求3所述的溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：所述压线筒的内径与所述普通信号引线采用过盈配合，所述弹性敏感元件与所述圆环形薄壁筒、所述圆环形薄壁筒与所述上盖、所述圆环形薄壁筒与所述压线筒、所述固定支撑架与所述圆环形薄壁筒均采用激光焊接。
5.根据权利要求3所述的溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：所述转接板为设置有U型去除槽的圆板，所述U型去除槽的顶端与所述转接板的中心重合，所述U型去除槽的宽度大于所述压线筒的外径，所述压线筒的内端位于所述U型去除槽内。
6.根据权利要求5所述的溅射薄膜式土壤压力传感器，其特征在于：所述转接板的外沿上还设置有沿所述U型去除槽对称并与其平行的条形去除槽。
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