[实用新型]一种等离子体源有效
| 申请号： | 201520226565.1 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204550701U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张睿智;林正坤;余永挣;吴刚;王金淼 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体源，其特征在于，包括：
用于产生电子的阴极；
加热器，所述加热器设置于所述阴极下方，对所述阴极进行加热；
用于接收所述阴极产生的电子并产生等离子体的阳极管，所述阳极管包括铝环、充氧环以及钢环；
所述铝环、所述充氧环以及所述钢环的表面均设置有隔离层，所述隔离层用于隔离所述等离子体与所述铝环、所述充氧环以及所述钢环接触。
2.如权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所述隔离层为氧化钇层、氧化锆层或者氧化铝层。
3.如权利要求2所述的等离子体源，其特征在于，所述氧化钇层、所述氧化锆层或者所述氧化铝层的厚度范围均为100μm-200μm。
4.如权利要求3所述的等离子体源，其特征在于，所述氧化钇层的厚度为150μm。
5.如权利要求1-4任一项所述的等离子体源，其特征在于，所述阴极为材料为LaB6的阴极。
6.如权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所述铝环和设置于所述铝环下表面的所述充氧环位于所述阳极管的顶部，所述钢环位于所述阳极管的中部。
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