[实用新型]用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置

权利要求书

1.一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，包括掩膜板传递装置(1)、掩膜板(2)、可拆卸样品托(3)、挡板(4)、冷却水管(5)、样品传递杆(6)和与掩膜板(2)相应的固定插板(21)；

固定插板(21)通过第一支持杆(23)设置在样品台的转轴上，掩膜板(2)通过支架滑动安插在掩膜板传递装置(1)中；

冷却水管(5)设置在挡板(4)的两侧和顶端，冷却水管(5)的两端均设有不锈钢软管,不锈钢软管的末端与真空法兰流体馈穿导件相连通，冷却水管(5)通过不锈钢软管和真空法兰流体馈穿导件与沉积室外部冷却循环水路形成闭路连接；

挡板(4)设置在沉积室内；

样品传递杆(6)设置在掩膜板(2)的一侧，样品传递杆(6)的进样端设有与可拆卸样品托(3)相应的转换接头(61)。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，样品传递杆(6)上设有直线推送装置和原位旋转装置,且安装于高真空的进样室里，在不中断主沉积腔室高真空或超高真空状态下，通过进样室从大气向高真空或超高真空传递样品。

3.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，转换接头(61)的一端设有双柱插头，双柱插头之间设有第一旋转锁头(7)，转换接头(61)的另一端设有与样品传递杆(6)相连接的固定接头。

4.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，所述的冷却水管(5)通过与掩膜板(2)移动相应移动的第二支持杆(51)的一端固定在挡板(4)上，第二支持杆(51)的另一端设有传动装置，传动装置与外部的传动控制装置相连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，掩膜板(2)的厚度≤0.2mm，掩膜板(2)上可以是面阵阵列图形，或者其他固定设计图形和图案组合，也可以是用于连续梯度薄膜沉积的实心掩膜板。

6.根据权利要求3所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，固定插板(21)的内侧设有第二固定锁定槽孔(22)，第二固定锁定槽孔(22)内设有螺纹固定孔；可拆卸样品托(3)的中部安插有与螺纹固定孔相应的螺纹丝杆，螺纹丝杆的一端设有与第二固定锁定槽孔(22)相应的第二旋转锁头(31)。

7.根据权利要求6所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，螺纹丝杆的另一端设有与第一旋转锁头(7)相应的可旋转第一锁定槽孔(32)。

8.根据权利要求7所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，还包括夹具，夹具由平头螺钉和厚度≤0.2mm的夹片组成，夹片通过平头螺钉固定在可拆卸样品托(3)的螺纹孔中。

9.根据权利要求3所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，可拆卸样品托(3)朝向样品传递杆(6)的侧部设有与双柱插头相应的双孔插孔。

10.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，挡板(4)上设有与可拆卸样品托(3)尺寸相应的蒸发窗孔(41)。

11.根据权利要求4所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，传动控制装置或为手动微调金属波纹管,或为步进电机驱动。

12.根据权利要求1所述的一种用于薄膜沉积设备系统的样品传递和掩膜装置，其特征在于，掩膜板传递装置(1)为二维直线传动控制装置，分别使用步进电机在两个相互垂直的方向上控制掩膜板(2)进行移动。