[实用新型]一种基于石英衬底的硅片蘸取装置

权利要求书

1.一种基于石英衬底的硅片蘸取装置，包括炉体(10)，所述炉体(10)内设有用于盛放硅液(6)的石英坩埚(7)，所述石英坩埚(7)的外侧周围设有加热器(4)，所述石英坩埚(7)的上方设有石英衬底(9)，所述石英衬底(9)和吊装杆(1)相连，其特征在于，所述石英坩埚(7)和加热器(4)之间设有热屏(3)，所述热屏(3)通过连接板(2)和石英衬底(9)连接，所述加热器(4)的横截断面为圆形，所述石英衬底(9)和热屏(3)的横截断面为六边形。

2.如权利要求1所述的基于石英衬底的硅片蘸取装置，其特征在于，所述石英衬底(9)的下表面设有脱模剂涂层(8)。

3.如权利要求2所述的基于石英衬底的硅片蘸取装置，其特征在于，所述石英衬底(9)的厚度为3～10cm，所述脱模剂涂层(8)的厚度为0.05～1mm。

4.如权利要求1所述的基于石英衬底的硅片蘸取装置，其特征在于，所述热屏(3)为硬质石墨毡，所述硬质石墨毡的厚度为2～5cm。

5.如权利要求1～4任一项所述的基于石英衬底的硅片蘸取装置，其特征在于，所述加热器(4)和炉体(10)之间设有保温层(5)。