[实用新型]一种超净高精度弱粘膜吸附贴合装置

权利要求书

1.一种超净高精度弱粘膜吸附贴合装置，其特征在于：包括：膜产品（1）、牵引装置（2）、贴合装置（3）、校准装置（4）和清洁装置（5），其中，所述贴合装置（3）包括上盖（31）和底座（32），所述膜产品（1）设于贴合装置（3）上，所述牵引装置（2）设于贴合装置（3）的侧面，所述上盖（31）通过活动销与底座（32）活动连接，所述校准装置（4）设于贴合装置（3）中，所述清洁装置（5）设于贴合装置（3）的一侧，所述底座（32）的上表面为工作台；

所述的校准装置（4）由感应器（41）、校准摄像头（42）、定位器（43）和控制器（44）构成，所述感应器（41）设于上盖（31）上，所述校准摄像头（42）和定位器（43）设于上盖（31）的正中部，所述控制器（44）设于底座（32）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种超净高精度弱粘膜吸附贴合装置，其特征在于：所述膜产品（1）包括：基膜（6）和弱粘膜（7），其中，所述基膜（6）从下到上依次为离型膜（8）、双面胶带（9）和蓝色离型膜（10），所述弱粘膜（7）设于蓝色离型膜（10）上。

3.根据权利要求1所述的一种超净高精度弱粘膜吸附贴合装置，其特征在于：所述清洁装置（5）由气枪（51）和气缸（52）构成，所述气枪（51）与气缸（52）连接，所述的气枪（51）设于贴合装置（3）的侧面。