[实用新型]硅片花篮夹持装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种夹持装置，具体的说是硅片花篮夹持装置。

背景技术

随着近年来半导体产业的飞速发展，对硅片的要求越来越高，尤其是对于6英寸及以上硅片的清洗工艺提出了更高的要求，且目前业内清洗硅片的方法大多是针对6英寸以下硅片的。硅晶圆的生产过程中从硅单晶棒开始，一般主要包括切片、倒角、背处理、抛光、清洗到最终取得完美镜面的抛光片结束，完美镜面的抛光片对硅片表面形貌及颗粒度都有非常高的要求。抛光后的硅片表面附着大量颗粒，需要使用化学试剂清洗去除掉表面的颗粒物。

现有的硅片清洗工艺一般包括化学清洗、甩干等步骤，在化学清洗工艺这个步骤主要包括SC-1、SC-2、DHF清洗工艺。SC-1主要是氨水双氧水混合液，SC-2是盐酸双氧水混合液，DHF是氢氟酸双氧水混合液，这几种酸都是危险化学药品，硅片在清洗过程中需要不断的更换清洗槽，由于硅片需要全部浸入化学液中，操作过程中化学液会溅到人体皮肤上，极度危害人体健康，容易出现安全事故。

业界目前使用的清洗装置结构如专利CN201320067211.8，工作原理是用手压手持装置，两边卡口会张大，花篮夹持装置卡住花篮两边后松开即可，一旦开始清洗，整个花篮重心全部在卡口处，转移过程中极易脱落进化学槽，还会使得化学液溅出，容易出现安全事故，而且在甩干前的卸下夹具时，需要手从上面再次压下，使得卡口与花篮分离，这样的正上方操作极易对颗粒要求非常高的硅片造成二次人为沾污，影响了产品良率。

发明内容

本实用新型旨在克服现有技术的缺陷，提供一种硅片花篮夹持装置，使操作人员不与药液直接接触，保证了操作人员的人身安全。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

一种硅片花篮夹持装置，其特征在于：它包括底座、两个连接臂和两个手柄，所述底座为由横杆和竖杆组成的矩形框架，所述横杆上部设有定位凹槽，所述两个连接臂分别竖直设于竖杆上部，所述两个手柄分别横向设于两个连接臂的外侧。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述手柄与连接臂之间垂直连接。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述定位凹槽的形状为倒三角形、半圆形或矩形。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述定位凹槽的宽度为10mm-15mm，深度为10mm-20mm。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述手柄长度为100mm-150mm，宽度为15mm-30mm。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述矩形框架的宽度为15mm-20mm，厚度为10mm-20mm。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述连接臂的形状为三角形、半圆形、矩形、镂空三角形、镂空半圆形或镂空矩形。

所述的硅片花篮夹持装置，其特征在于：所述底座、连接臂和手柄均采用聚丙烯制成。

本实用新型的有益效果是：设有便捷的花篮定位凹槽，便于花篮的快速放置与抽取，防止二次污染，简化操作流程，提高工作效率；同时防止花篮在移动过程中的晃动，避免硅片的二次损伤。减少皮肤与化学液的直接接触，有效防止安全事故的发生。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1侧视方向的结构示意图。

图3为图1俯视方向的结构示意图。

具体实施方式

如图1-图3所示：一种硅片花篮夹持装置，硅片花篮夹持装置，它包括底座3、两个连接臂2和两个手柄1，所述底座为由横杆31和竖杆32组成的矩形框架，所述横杆上部设有定位凹槽4，所述两个连接臂分别竖直设于竖杆上部，所述两个手柄分别横向设于两个连接臂的外侧；所述手柄与连接臂之间垂直连接；所述定位凹槽的形状为倒三角形、半圆形或矩形，优选为半圆形；所述定位凹槽的宽度为10mm-15mm，深度为10mm-20mm；所述手柄长度为100mm-150mm，宽度为15mm-30mm；所述矩形框架的宽度为15mm-20mm，厚度为10mm-20mm；所述连接臂的形状为三角形、半圆形、矩形、镂空三角形、镂空半圆形或镂空矩形，优选三角形；所述底座、连接臂和手柄均采用聚丙烯制成。

将装有硅片的花篮竖直插入底座中，通过定位凹槽固定花篮，通过本实用新型将花篮放置在化学液中，使用化学液对硅片进行清洗；在清洗过程前，只需一人双手握住手柄，平稳的将花篮放入化学液槽中清洗，在清洗过程中手柄可以放置在清洗机机台面板上，手柄暴露于空气中，未浸泡入化学清洗液中，确保整个清洗装置不被化学液浸没，减少了人与化学液接触几率，在转移过程中，定位凹槽可以固定住花篮，不让其晃动，降低了硅片表面在转移过程中由于晃动导致的二次沾污问题；在清洗结束后，只需抓住手柄将花篮移除清洗槽，再将花篮从本实用新型中直接竖直取出即可。