[实用新型]一种湿法腐蚀装置有效
| 申请号： | 201520184874.7 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN204625174U | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 苗斌;李加东;魏晓伟;吴东岷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 腐蚀 装置 | ||
1.一种湿法腐蚀装置，其特征在于，包括腐蚀槽，该腐蚀槽具有一收容空间，所述收容空间内设置有一腐蚀架，所述腐蚀槽相对的两侧分别设有一进液口和一出液口，所述进液口和出液口之间通过循环管道连通，所述循环管道上设置有一循环泵。
2.根据权利要求1所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽内还设置有加热管，所述加热管与腐蚀槽外部的温控装置电性连接。
3.根据权利要求2所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述加热管沿所述腐蚀槽的内壁呈环形设置。
4.根据权利要求3所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述加热管在竖直方向上波形折弯。
5.根据权利要求2所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽内还设置有一测温电阻，该测温电阻电性连接于所述温控装置。
6.根据权利要求1所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽的顶端开口密封有一槽盖，所述槽盖的一端通过转动销转动连接于所述腐蚀槽的顶端边缘。
7.根据权利要求6所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述槽盖的上表面安装有一开启把手。
8.根据权利要求6所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述槽盖与所述腐蚀槽的接触面上设有密封圈。
9.根据权利要求6所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽的内部与一真空泵相连。
10.根据权利要求6所述的湿法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽的侧壁上还设有一释压阀。
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