[实用新型]一种抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光干涉测量技术领域，具体涉及一种抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪。

背景技术

激光器的出现，使古老的干涉技术得到迅速发展，激光具有亮度高、方向性好、单色性及相干性好等特点，激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广泛：精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测；精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统；微小尺寸的测量等。在大多数激光干涉测长系统中，都采用了迈克尔逊干涉仪或类似的光路结构。

单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式L＝N×λ/2，式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

单频激光干涉仪的弱点之一就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这一缺点十分突出。其原因在于它是一种直流测量系统，必然具有直流光平和电平零漂的弊端。激光干涉仪可动反光镜移动时，光电接收器会输出信号，如果信号超过了计数器的触发电平则就会被记录下来，而如果激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数，使激光器强度或干涉信号强度变化的主要原因是空气湍流，机床油雾，切削屑对光束的影响，结果光束发生偏移或波面扭曲。

单频激光干涉仪由于测量结构的问题，其测量精度受限于激光的波长，其精度一般只能为其波长的整数倍，很难再进行提升，同时测量环境的变化对测量结果有较大影响。随着工业生产对精密测量的要求越来越高，对测量仪器的测量精度提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有激光干涉仪测量精度仅可测量获取激光干涉中整数倍波长，测量精度难以提升的弊端，在现有迈克尔逊激光干涉仪的基础上，采用多束平行激光束与阶梯型平面反射镜实现激光干涉的交替测量，同时在激光干涉光路中结合微动平台，以获得激光干涉测距中无法获得的激光干涉波的小数部分，提高激光干涉测量仪的测量精度。同时由于多光路干涉状态交替变换，对测量光路的环境变化有更高的抗干扰能力。

本实用新型采用的技术方案为：

一种抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器组以及微动平台，所述激光源包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组包括n个光电探测器，所述阶梯型平面反射镜包括n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为激光源发出的激光波长；每个所述激光源发出的激光经过所述分光镜反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将对应激光束反射到对应的所述光电探测器组的各个光电探测器；所述激光源发出的每束激光经过所述分光镜透射后，分别入射到所述移动反射镜后再反射到对应的光电探测器组的各个光电探测器；所述阶梯型平面反射镜连接在所述微动平台上。

作为本实用新型的优选实施方式，所述微动平台可以为压电陶瓷。

作为本实用新型的优选实施方式，随着所述移动反射镜在干涉光路方向的移动，由于激光源射出的不同激光的干涉光路光程差，各激光干涉光路将交替处于最强干涉状态。

本实用新型还提供一种上述的抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪的测量方法，步骤包括：

步骤一、将所述阶梯型平面反射镜固定在所述微动平台上，调整好所述激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器的位置；

步骤二、启动所述激光源，所述激光源发出的激光到所述分光镜反射，经反射后的激光射入对应的所述阶梯型平面反射镜，在所述阶梯型平面反射镜的阶梯反射面反射到对应的所述光电探测器；所述激光源发出的激光到所述分光镜，经透射后的激光入射到所述移动反射镜，经所述移动反射镜反射到所述光电探测器，光电探测器可以检测出激光干涉状态，干涉光路调整完成；