[实用新型]一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

说明书

技术领域

本实用新型属于双面研磨/抛光机领域，具体涉及一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构。

背景技术

在传统的双面研磨/抛光机设备中，通常有两种供液方式：1、供液系统由砂泵直接抽研磨/抛光液至设备上，液体可以重复循环利用一定次数，2、供液系统经过砂泵后连接到传统的电动蠕动泵上，再经过泵头将研磨/抛光液送至设备上，液体利用一次后直接排出。以上传统的两种方式分别从节约成本以及对研磨/抛光的片子质量要求程度来区分，但是两种方式不能同时兼顾成本和质量，尤其传统的电动蠕动泵在使用过程中会有出液不稳定、使用寿命短等缺陷，从而导致设备加工精度降低、设备故障率高，整体使用寿命下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构。提升设备的稳定性、加工精度，同时降低了加工成本、设备的故障率、维修难度。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑，所述主支撑下端设有两个用于支撑的支架，所述主支撑上端面分别安装有前支板、减速电机和支撑架，所述前支板上安装有前端轴，所述前端轴通过轴承与前端盖转动地连接，所述减速电机的转轴通过键与后端盖配合固接，所述前端盖与后端盖之间通过多组滚针装置相连接，所述支撑架上分别安装有压盖和连接块，所述压盖通过拉手杆与支撑架相压紧。

进一步的，所述前端轴一端通过轴用弹性挡圈进行轴向限位，另一端为轴端限位。

进一步的，所述前端盖通过孔用弹性挡圈对轴承轴向限位。

进一步的，所述轴承为深沟球轴承。

进一步的，所述后端盖与减速电机转轴上的键配合的内孔为非通孔，用于限制减速电机轴上键的轴向串动。

进一步的，所述后端盖圆周面上开有螺纹孔，并且通过所述螺纹孔和相应的螺钉压紧减速电机转轴上的键。

进一步的，所述滚针装置通过螺钉及内设轴承转动地与前端盖和后端盖之间相连接。

进一步的，所述主支撑与支撑架连接处开有U型槽用于调节支撑架的位置高度。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型的滚针装置可通过内部的轴承实现自转，也可由减速电机带动公转，且通过螺钉紧固，成本较低，拆卸简单，便于维修，压盖内表面粗糙度要求可低至Ra0.4，降低与蠕动泵管之间的摩擦，延长管子使用寿命，提高了运行稳定性和设备运行精度，主支撑与支撑架连接处开U型槽调节支撑架的位置高度，使用灵活方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中标号说明：1、支架，2、主支撑，3、前支板，4、前端轴，5、连接块，6、前端盖，7、滚针装置，8、压盖， 9、拉手杆，10、后端盖，11、支撑架，12、把手座，13、减速电机，14、轴承。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。

参照图1所示，一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑2，所述主支撑2下端设有两个用于支撑的支架1，所述主支撑2上端面分别安装有前支板3、减速电机13和支撑架11，所述前支板3上安装有前端轴4，所述前端轴4通过轴承14与前端盖6转动地连接，所述减速电机13的转轴通过键与后端盖10配合固接，所述前端盖6与后端盖10之间通过多组滚针装置7相连接，所述支撑架11上分别安装有压盖8和连接块5，所述压盖8通过拉手杆9与支撑架11相压紧。

所述前端轴4一端通过轴用弹性挡圈进行轴向限位，另一端为轴端限位。

所述前端盖6通过孔用弹性挡圈对轴承14轴向限位。

所述轴承14为深沟球轴承。

所述后端盖10与减速电机13转轴上的键配合的内孔为非通孔，用于限制减速电机轴上键的轴向串动。

所述后端盖10圆周面上开有螺纹孔，并且通过所述螺纹孔和相应的螺钉压紧减速电机13转轴上的键。

所述滚针装置7通过螺钉及内设轴承转动地与前端盖6和后端盖10之间相连接，在本实施例中滚针装置7有三组，由减速电机13通过后端盖10带动公转，并且三组滚针装置7在公转的同时自身还通过内设轴承进行自转。

所述主支撑2与支撑架11连接处开有U型槽用于调节支撑架11的位置高度。

本实用新型的机构用于双面研磨/抛光机供液的机械蠕动泵机构，主要应用于电子专用加工设备双面研磨/抛光机的供液，还可用于其他对加工片子质量要求较高的设备。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。