[实用新型]一种用于硅片清洗机的热交换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片清洗机的热交换装置，主要用于冷却硅片清洗机中的酸碱液，涉及太阳能电池制造技术领域。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。在各类太阳能电池中，晶体硅（单晶、多晶）太阳能电池占有极其重要的地位，目前占据了光伏市场75%以上的份额。晶体硅太阳能电池利用p-n结的光生伏特效应实现光电转换，因此从发展的观点来看，晶体硅太阳能电池在未来很长的一段时间仍将占据主导地位。

现有的晶体硅太阳能电池的制造流程为：表面清洗、硅片表面织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化晶体硅电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到了广泛应用。其中，表面清洗工艺是必不可少的。现有技术中，表面清洗工艺一般都是在硅片清洗机中进行，硅片清洗机主要包括槽体，槽体内装有酸碱液；为了能达到较好的清洗效果，减少因酸碱液温度过高而导致的硅片表面朦胧等问题，有必要对硅片清洗机槽体内的酸碱液进行降温处理。

针对上述技术问题，现有的方法是采用普通的热交换装置，将酸碱液置于热交换器的储存箱内，再通过冷凝盘管进行热交换降温。然而，由于需要处理的酸碱液的量很大，因此为了有效地进行降温处理，一般需要采用冷却媒介（如冷却剂）在冷凝盘管内流通，同时需要采用冷冻机对冷却媒介进行持续制冷处理。因此现有的设备和方法不仅成本较高，而且冷却效果差强人意。

因此，开发一种低成本的用于硅片清洗机的热交换装置，以有效地对酸碱液进行降温处理，显然具有积极的现实意义。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种用于硅片清洗机的热交换装置。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于硅片清洗机的热交换装置，包括冷凝水储存箱，冷凝水储存箱上设有进水管和出水管；

冷凝水储存箱内设有冷凝盘管，冷凝盘管的一端与酸碱液输入管连通，另一端与酸碱液输出管连通。

上文中，所述冷凝水储存箱是用来走冷凝水的，达到冷却的目的，而冷凝水储存箱内的冷凝盘管是用来走待处理的酸碱液的。

冷凝水可以采用厂务系统的冷却水，无需外加冷冻机（或压缩机）进行制冷，因此成本极低。

上述技术方案中，所述冷凝水储存箱内还设有液位监控系统，冷凝水储存箱的上方设有溢流管。可以防止液位监控系统失效而导致的冷凝水储存箱中冷凝水溢出。所述液位监控系统可以由PLC进行逻辑控制。

上述技术方案中，所述冷凝水储存箱为密封结构。

上述技术方案中，还包括动力系统和控制系统。所述动力系统是使冷凝水和酸碱液分别实现循环流动，例如可以采用水泵。

上述技术方案中，所述进水管的管路上设有阀门。

上述技术方案中，所述酸碱液输入管的管路上设有阀门。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型设计了一种专门用于硅片清洗机的热交换装置，利用冷凝水储存箱走冷凝水，而在冷凝水储存箱内的冷凝盘管走待处理的酸碱液的，使冷凝水可以在外围全面覆盖冷凝盘管，因此冷却效果较好；

2、本实用新型可以采用厂务系统的冷却水作为冷却媒介，无需外加压缩机进行制冷，结构简单，成本极低；

3、本实用新型的冷凝水和待处理的酸碱液采用非接触式进行热交换，可有效防止酸碱液间的互相污染；

4、本实用新型设有液位监控系统及溢流管，运行安全可靠；

5、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

其中：1、冷凝水储存箱；2、进水管；3、出水管；4、冷凝盘管；5、酸碱液输入管；6、酸碱液输出管；7、液位监控系统；8、溢流管；9、阀门。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型进一步描述。

实施例一：

参见图1所示，一种用于硅片清洗机的热交换装置，包括冷凝水储存箱1，冷凝水储存箱上设有进水管2和出水管3；

冷凝水储存箱内设有冷凝盘管4，冷凝盘管的一端与酸碱液输入管5连通，另一端与酸碱液输出管6连通。

所述冷凝盘管可以由细的PP软管缠绕而成。

所述冷凝水储存箱内还设有液位监控系统7，冷凝水储存箱的上方设有溢流管8。