[实用新型]一种氦气提纯处理系统

权利要求书

1.一种氦气提纯处理系统，其特征在于：该系统包括用于过滤工业废气的过滤器，所述过滤器的进气端设有用于工业废气流入的原料气管道（37），所述过滤器的出气端设有用于对过滤器排出的粗氦气进行化学吸附的化学吸附装置，所述化学吸附装置的出气端连接有加气罐，所述加气罐的出气端连接有换热器，所述换热器包括热流通道和冷流通道，所述冷流通道与所述热流通道之间设有电加热器和催化筒，所述电加热器的进气端与热交换器的冷流通道相连，所述催化筒的出气端与所述热流通道的进气端相连，所述热流通道的出气端设有冷却器，所述冷却器的出气端与第一净化系统（31）相连，所述第一净化系统（31）的出气端设有粗氦冷却器，所述粗氦冷却器的出气端设有精馏塔；

所述精馏塔（33）的出气端设有用于测试精馏塔出口气体杂质含量的分析仪，所述分析仪的输出端分别连接有输气管道（38）和回流管道（36），所述输气管道（38）的进气端连接所述分析仪的输出端，所述输气管道（38）的出气端连接有第二净化系统（32），所述回流管道（36）的进气端连接所述分析仪的输出端，所述回流管道（36）的输出端连接所述原料气管道（37）；所述回流管道（36）靠近所述分析仪出口端的一侧设有控制阀门（34），所述第二净化系统（32）的出气端与氦气储存罐（35）相连。