[实用新型]一种坩埚加热器

权利要求书

1.一种坩埚加热器，包括：基板，所述基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置；其特征在于：

所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔，所述空腔由所述加热片环绕形成的，所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上，所述加热片与所述电源电连接，所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部；

所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上；

所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。

2.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述加热片包括第一加热片和第二加热片，所述空腔包括第一空腔和第二空腔，所述第一空腔由所述第一加热片环绕形成的，所述第二空腔由所述第二加热片环绕形成的，所述第一空腔和所述第二空腔从上至下设置，并且内部联通。

3.如权利要求2所述的坩埚加热器，其特征在于：所述第二加热片的长度长于所述第一加热片的长度。

4.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述基板为不锈钢材料制成的基板，所述隔热层上设置有通孔。

5.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述空腔的横截面为圆形、方形或长方形。

6.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述隔热层为陶瓷材料制成的隔热层。

7.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述隔热层的数量为三层。

8.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述固定座的数量为四个，每个所述固定座上都设置有固定槽。

9.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述固定机构包括陶瓷片和竖杆，所述竖杆竖直设置在所述基板上，所述陶瓷片套设于加热片外，并固定在所述竖杆上。

10.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：还包括热电偶，所述空腔的两侧分别设置有所述热电偶，两所述热电偶都位于空腔的顶部，所述空腔的底部也设置有所述热电偶。