[实用新型]一种等离子射流装置和组件有效
| 申请号： | 201520131434.5 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN205017675U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 辛煜;沈铭;唐成双;王哲;李昊;虞一青 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 杨明 |
| 地址： | 215100 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 射流 装置 组件 | ||
1.一种等离子射流装置，包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：
-绝缘管(3)，位于所述外管体(2)的内腔中，其轴线与所述外管体(2)的轴线平行；
-金属阴极体(4)，位于所述绝缘管(3)的内腔中且与射频输出装置的射频输出端相连，所述阴极体(4)为杆状结构且其轴线与所述绝缘管(3)的轴线平行；
-金属阳极体(6)，为空心杆状结构，所述阳极体(6)其内壁套设在所述绝缘管(3)的外壁上，其外壁夹紧于所述所述外管体(2)内壁中；
-进气通道(8)，其与所述绝缘管(3)的内腔连通，所述进气通道(8)的出气口设置在所述射流装置的外部。
2.根据权利要求1所述的一种等离子射流装置，其特征在于，还包括相互连接的第一连接装置(10)和第二连接装置(12)，所述阴极体(4)的一端夹紧在所述第一连接装置(10)上，所述外管体(2)的外壁夹紧在所述第二连接装置(12)上。
3.根据权利要求2所述的一种等离子射流装置，其特征在于，所述第一连接装置(10)和第二连接装置(12)的连接方式为法兰连接，所述阴极体(4)、外管体(2)与所述第一连接装置(10)、第二连接装置(12)的夹紧方式均为定心夹紧。
4.根据权利要求3所述的一种等离子射流装置，其特征在于，所述阴极体(4)为钨丝。
5.一种等离子射流组件，包括：
如权利要求1-4其中任一所述的射流装置；
连接在所述射流装置的进气通道(8)上的进气装置；以及
能够向所述射流装置的阴极体(4)中馈入射频功率的射频电源；
能够向所述进气通道(8)中送入氩气、氧气中的一种或者多种的气体发送装置。
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