[实用新型]基于手套箱的真空紫外光源测试系统

权利要求书

1. 基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：包括高低温恒温手套箱、灯架和紫外辐射测试设备，其中：

所述手套箱具有一个观察窗，用于观测手套箱内的操作状态，其外侧装有可开合的挡光设施，正常实验测试时用于遮挡手套箱外部的光线，避免杂散光干扰导致的测量误差；同时设有若干个辐射测试窗口，也作为观测窗；手套箱其余内表面进行黑化处理；

所述紫外辐射测试设备包括若干紫外辐照度计、光谱仪、单色仪，用于测量紫外辐射；

所述灯架位于手套箱内，是固定式或者是旋转式，灯架的高度可以调节。

2. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的观测窗材料根据待测波段确定，测量波长200 nm以下的真空紫外辐射时，窗口材料采用氟化镁晶体，探头或光纤与窗口之间抽真空或者保持氮气或氩气氛围；测量波长200 nm以上的紫外辐射时，窗口材料是石英玻璃，探头或光纤周围处于常温常压的大气中。

3. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的手套箱内装有测量水蒸汽含量的探头、测量氧气含量的探头，这些探头与外部的分析仪相连，用来检测手套箱内的水、氧含量。

4. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的手套箱附设水循环接口，可以通过恒温水浴或油浴控制光源的管壁温度或冷端温度。

5. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述手套箱设有过渡舱，该过渡舱采用可折叠的结构，过渡舱的长度可以根据装入的灯的尺寸通过可折叠结构进行伸缩调节。

6. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述紫外辐照度计探头放置于手套箱观测窗外，探头的接收面对准灯体，且探头受光面的法线垂直于灯轴。

7. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述光谱仪采用光纤导光，光纤头固定在手套箱的观测窗外，光纤头前安装有余弦校正片、准直透镜。

8. 根据权利要求7所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的手套箱直接跟真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定真空紫外光源的相对光谱功率分布和绝对辐射效率。