[实用新型]一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及化工领域，具体是一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置。

背景技术

四甲基氢氧化铵，简称TMAH，是一种重要的有机碱。其为与苛性碱同等强度的强碱，加热分解后不会残留任何物质，尤其是不会残留可导电的离子物质，因而被广泛应用于电子工业领域。其常被用作集成电路版的清洗、刻蚀、抛光试剂，也可以作为硅橡胶、硅树脂和硅油等有机硅产品的合成催化剂。随着大规模集成电路的不断发展，对于四甲基氢氧化铵的需求量日益增多。

目前，四甲基氢氧化铵的生产方法主要有沉淀法、离子交换树脂法、加成法、离子膜法和离子膜电解法等。其中，采用沉淀法生产四甲基氢氧化铵，存在生产成本高、产品纯度不高等缺点；采用离子交换树脂法生产四甲基氢氧化铵，在预处理和再生过程中，会消耗大量高纯酸碱，同时产生大量废酸废碱，从而对环境造成严重污染，同时，树脂用量大，生产成本高；采用加成法生产四甲基氢氧化铵，需要在高压密闭环境中进行，中间产物很不稳定，副产物较多，产品纯度低，后期提纯处理困难；离子膜法生产四甲基氢氧化铵，存在离子交换速度慢，产品中杂质离子含量高、纯度低的问题。上述方法都有一定的局限性，相比较而言离子膜法更符合可持续发展的方针，因此，迫切的需求一种能够有效的解决离子膜法速度慢、杂质离子含量高、纯度低等缺点的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置，包括四甲基碳酸氢铵中间储罐、过滤器A、电解槽、过滤器B和产品储罐；所述四甲基碳酸氢铵中间储罐的出口端连接过滤器A的入口端，过滤器A的出口端连接电解槽的入口端，电解槽的出口端通过出料管连接过滤器B的入口端，过滤器B的出口端连接产品储罐。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该制备四甲基氢氧化铵的电解装置，经过精馏精制的四甲基碳酸氢铵溶液，在经过过滤装置预处理，保证了电解生产的四甲基氢氧化铵金属杂质和阴离子杂质达到显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液使用要求，且提高了电解生产的效率。而且结构简单，可连续生产，并且树脂容易再生，循环使用，节约成本，易于推广实用。

附图说明

图1为制备四甲基氢氧化铵的电解装置的结构示意图。

图中：1-四甲基碳酸氢铵中间储罐、2-过滤器A、3-电解槽、4-过滤器B、5-产品储罐。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型实施例中，一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置，包括四甲基碳酸氢铵中间储罐1、过滤器A 2、电解槽3、过滤器B 4和产品储罐5；所述四甲基碳酸氢铵中间储罐1内存放四甲基碳酸氢铵溶液，四甲基碳酸氢铵中间储罐1的出口端连接过滤器A 2的入口端，过滤器A 2的出口端连接电解槽3的入口端，电解槽3的出口端通过出料管连接过滤器B 4的入口端，过滤器B 4的出口端连接产品储罐5。

本实用新型的工作原理是：所述制备四甲基氢氧化铵的电解装置，经过精馏处理后的四甲基碳酸氢铵溶液，从四甲基碳酸氢铵中间储罐1内流出，并流入过滤器A 2内，进行过滤预处理，降低四甲基碳酸氢铵溶液中金属杂质和阴离子杂质含量，经过过滤预处理的四甲基碳酸氢铵溶液送入电解槽3内，经过电解生产四甲基氢氧化铵，产生的四甲基氢氧化铵，送入过滤器B 4内进行过滤，过滤后的四甲基氢氧化铵送入产品储罐5内，等待后续包装。

所述制备四甲基氢氧化铵的电解装置，经过精馏精制的四甲基碳酸氢铵溶液，在经过过滤装置预处理，保证了电解生产的四甲基氢氧化铵金属杂质和阴离子杂质达到显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液使用要求，且提高了电解生产的效率。而且结构简单，可连续生产，并且树脂容易再生，循环使用，节约成本，易于推广实用。