[实用新型]一种晶圆衬底有效
| 申请号： | 201520124010.6 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN204441320U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄文宾;谢祥彬;林兓兓;张家宏 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆衬底，其特征在于：所述衬底的边缘设置有L型倒角，所述L型倒角包括相互连接成为一体的垂直部分和水平部分，用于提高衬底边缘外延生长良率及避免外延生长飞片现象。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述衬底的厚度设为T，所述垂直部分高度设定为H，T和H的大小符合关系式：H＝0.01T～0.4T。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述垂直部分高度设定为H，H的取值范围为：5μm≦H≦50μm。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述水平部分的宽度设为D，所述衬底上表面的直径设为D1，下表面的直径设为D2，D、D1和D2大小符合关系式：2×D＝D2-D1，1μm≦D≦30μm。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述L型倒角与所述衬底上表面交接处设置为弧形。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述L型倒角与所述衬底下表面交接处设置为弧形。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述衬底为蓝宝石平片衬底、蓝宝石图形化衬底、碳化硅衬底、硅衬底、氮化镓衬底、氧化锌衬底中的任意一种。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底，其特征在于：所述衬底为圆形、方形或不规则形。
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