[实用新型]一种用于ICP试验台的感应线圈

说明书

技术领域

本实用新型涉及电感设备技术领域，尤其涉及一种用于ICP试验台的感应线圈。

背景技术

等离子体是物质存在的一种基本形态，是除固体、液体和气体以外的第四种物质形态，它广泛存在于宇宙和人类的活动中。随着科技的发展，等离子体的应用在不断扩展，在物理、化学、材料科学、微电子等领域都得到广泛应用。

电感耦合放电等离子体(Inductively Coupled Plasma，即ICP)是人们获得等离子体的一种方法，将射频功率输入到非谐振感应线圈，通过电感耦合将能量输送给等离子体的方法叫电感耦合放电。为了获得稳定的低温等离子体，需要用感应线圈将射频功率施加到放电的气体中，为使等离子体保持稳定，需要ICP感应线圈的射频阻抗保持稳定，但现有技术中缺乏相关感应线圈的研究，常规的感应线圈缺乏稳定性和冷却效果。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于ICP试验台的感应线圈，该感应线圈具有良好的稳定性和冷却效果。

一种用于ICP试验台的感应线圈，所述感应线圈采用镀银铜管绕制，并采用螺旋线形式绕制3圈；

在所述感应线圈的两端焊接有进水咀和出水咀。

在所述感应线圈上加装有4个固定板进行加固。

所述固定板采用聚四氟乙烯板加工而成。

所述固定板的孔直径等于所述镀银铜管的直径。

所述固定板的孔距等于所述感应线圈的螺距。

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，应用该感应线圈的结构，就可以具有良好的稳定性和冷却效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型所述用于ICP试验台的感应线圈结构示意图；

图2为本实用新型所述固定板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述，如图1所示为本实用新型所述用于ICP试验台的感应线圈结构示意图，图1中包括有镀银铜管1、进水咀2、出水咀3和固定板4，具体结构和组成为：

该感应线圈采用镀银铜管1绕制，且镀银铜管1采用螺旋线形式绕制3圈；

为达到良好的冷却效果，在所述感应线圈的两端焊接有进水咀2和出水咀3，通过循环水进行感应线圈的冷却。

为保证感应线圈的间距固定牢靠，在所述感应线圈上还可以加装4个固定板进行加固，如图1所示的固定板4。

在具体实现中，固定板4可以采用聚四氟乙烯板加工而成，既具有一定的机械强度，又有良好的绝缘性能。

如图2所示为本实用新型所述固定板的结构示意图，具体实现中，该固定板的孔直径φ可以等于镀银铜管1的直径；还可以用固定板来限制所述感应线圈的螺距，具体实现时，固定板的孔距d等于所述感应线圈的螺距。

综上所述，采用上述实施例所述的感应线圈结构，可以具有良好的稳定性和冷却效果；且线圈的间距固定牢靠，具有良好的绝缘性能。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。