[实用新型]一种静电保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种静电保护装置。

背景技术

随着高科技的蓬勃发展，在半导体器件的大规模生产中，半导体器件制成后需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏，通过对后段制程中的半导体器件进行可靠性测试，可以发现和纠正缺陷以解决缺陷产生的问题，因此，半导体器件的可靠性测试对于提高良率、改善工艺技术的可靠性和稳定性非常重要。其中，对产品进行老化测试(Burn in Test)是产品可靠性测试非常重要且必须经过的一个环节，一般而言，在高温、高电压等条件下对位于老化测试基板(Burn in Board，BIB)上的半导体器件进行测试，加速芯片运行过程，使生命周期较短的半导体器件在老化测试过程中提早显现出来，以淘汰易于发生故障的半导体器件，使半导体器件进入市场后可靠性相对提高。

如图1所示为现有技术中的老化测试基板1，所述老化测试基板1上均匀排布有多个老化测试插座11，将实验样品(待测试芯片)加载到所述老化测试插座11上，通过对所述老化测试插座11加热或加压实现对各实验样品的高温、高压老化测试。目前没有专门的加载和卸载实验样品的工具，都是通过作业员徒手将需要进行高温、高压老化测试的实验样品加载到所述老化测试插座11上或从所述老化测试插座11上卸载下来。

一方面，人体直接接触实验样品极易造成人ESD对实验样品静电释放(Electrostatic Discharge，ESD)，静电释放保护对集成电路来说是非常重要的，无论是在电子设备的正常使用、运输和库存中、还是在生产装配各种集成电路元件的过程中都有可能发生静电释放，这些难以正确预见和防范的静电释放会损坏集成电路，影响实验结果。

另一方面，作业员徒手操作对实验样品的加载和卸载进行操作也十分困难，作业速度慢，影响工作效率。

因此，如何避免老化测试过程中静电对实验结果的影响，同时提高工作效率已成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种静电保护装置，用于解决现有技术中老化测试过程中静电影响实验结果、工作效率低等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种静电保护装置，所述静电保护装置至少包括：

底座以及手持部件，所述底座包括矩形内圈及矩形外圈，所述矩形内圈及所述矩形外圈的上端通过水平连接板连接，所述矩形内圈的内部为上下贯通的开口，所述矩形外圈下端的四个转角上设置有凹槽，所述手持部件位于所述底座的两侧。

优选地，所述底座与老化测试插座卡合。

优选地，所述开口与所述手持部件之间设置有挡板。

更优选地，所述挡板的高度设定为1.0cm～2.0cm。

优选地，所述凹槽为矩形结构。

优选地，所述矩形外圈的边长设定为2.5cm～3.0cm。

优选地，所述矩形内圈的边长设定为1.6cm～1.8cm。

优选地，所述静电保护装置的表面镀有静电保护层。

更优选地，所述静电保护层的材质为金属锌。

如上所述，本实用新型的静电保护装置，具有以下有益效果：

1、本实用新型的静电保护装置表面镀有ESD保护层，避免人体静电对实验样品造成损坏，确保实验结果的准确性。

2、本实用新型的静电保护装置的底座能与老化测试插座直接对接。

3、本实用新型的静电保护装置的手持部件，便于操作，提高工作效率。

附图说明

图1显示为现有技术中的老化测试基板示意图。

图2显示为本实用新型的静电保护装置示意图。

图3显示为本实用新型的静电保护的仰视图。

元件标号说明

1    老化测试基板

11   老化测试插座

2    静电保护装置

21   底座

211  矩形内圈

212   矩形外圈

213   水平连接板

2121  凹槽

22    手持部件

23    挡板

24    开口

d1    矩形内圈的边长

d2    矩形外圈的边长

d3    手持部分的宽度

h     挡板的高度

具体实施方式