[实用新型]一种静电卡盘系统有效
| 申请号： | 201520103626.5 | 申请日： | 2015-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN204441270U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李玉站 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 系统 | ||
1.一种静电卡盘系统，其特征在于，包括双电极静电卡盘、电压极性转换电路、直流电源，双电极静电卡盘经电压极性转换电路与直流电源电连接，其中，电压极性转换电路用于将双电极静电卡盘切换成单电极吸附方式或双电极吸附方式，并同时用于切换施加到静电卡盘中埋设的电极上的电压极性。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述双电极静电卡盘内埋设有两部分相互电绝缘的电极。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述双电极静电卡盘被切换成单电极吸附方式时，所述两部分电极相互并联。
4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述双电极静电卡盘被切换成单电极吸附方式时，所述电极上所加载的电压极性为正压或负压。
5.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述双电极静电卡盘被切换成双电极吸附方式时，所述两部分电极上的电压极性能够互换。
6.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电压极性转换电路由继电器开关电路构成。
7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述继电器开关电路包括4个继电器K1、K2、K3、K4，每个继电器各取一个常开触点C1、C2、C3、C4组成逻辑开关电路，C1和C3的输入端相连构成端口1，C2和C4的输入端相连构成端口2，C1和C2或C4的输出端相连构成端口3，C3和C4或C2的输出端相连构成端口4，端口1、2分别与所述直流电源的正极输出端、负极输出端相连，端口3、4各与所述两部分电极其中之一相连。
8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述双电极静电卡盘与所述电压极性转换电路之间还设置有用于防止射频泄漏的滤波电路。
9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述滤波电路为低通滤波电路。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
