[实用新型]一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置

权利要求书

1.一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，包括研磨机研磨面板的内齿圈和外齿圈，其特征在于：所述内齿圈和外齿圈之间有游心轮，所述游心轮与内齿圈以及外齿圈相齿合；所述游心轮上均匀排布有毛刷。

2.根据权利要求1所述的一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，其特征在于：所述毛刷插套在游心轮上，所述游心轮上均匀排布有套孔，所述毛刷上有固定环，所述毛刷通过固定环插套在套孔中。

3.根据权利要求1所述的一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，其特征在于：所述毛刷与游心轮之间通过绳子固定，所述游心轮上有均匀排列有大小不同的两种孔，所述绳子穿过小孔将毛刷固定在大孔内。

4.根据权利要求1所述的一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，其特征在于：所述游心轮的数量为3-5个。

5.根据权利要求1所述的一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，其特征在于：所述毛刷采用猪鬃制成。