[实用新型]硅片工装花篮方向检测机构有效
申请号: | 201520087960.6 | 申请日: | 2015-02-09 |
公开(公告)号: | CN204441255U | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 陈宏 | 申请(专利权)人: | 张家港市超声电气有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 田媛;靳静 |
地址: | 215618 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 工装 花篮 方向 检测 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种硅片工装花篮方向检测机构。
背景技术
对切割后的硅片需要分片插装在工装花篮中,而工装花篮的结构要适应前后的各个工序,故具有上下方向,所以,在向插片设备输送工装花篮时,需要检测花篮的方向是否正确。
实用新型内容
针对上述存在的技术不足,本实用新型的目的是提供一种硅片工装花篮方向检测机构,其通过设置在工装花篮移动路径下方的检测头来实现,准确率高,实时性好,能够有效提高后续插片的效率。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种硅片工装花篮方向检测机构,工装花篮具有上壁、下壁、对应连接在上壁与下壁之间的两个侧壁,上壁、下壁与两个侧壁之间形成硅片的收纳空间,收纳空间沿平行于上壁及侧壁的方向上的一端为供硅片进入的敞口、另一端具有用于限定硅片的挡板,下壁设置有被检测部,该检测机构设置在一输送机构上,所述的输送机构包括供工装花篮移动的导轨、沿长度方向设置在所述的导轨内的两条同步移动的输送带,两条所述的输送带相平行,工装花篮位于两条所述的输送带上且能够随之移动,两条所述的输送带之间设置有一支撑板,该检测机构包括设置在所述的支撑板上的用于检测位于其上方的工装花篮的搁置方向是否正确的检测头,所述的检测头内包括发光器和收光器,所述的收光器连接在一检测电路中,当工装花篮位于所述的检测头上方时,所述的发光器发出的光束经所述的被检测部反射后被所述的收光器接收。
优选地,所述的被检测部为部分所述的下壁,当工装花篮位于所述的检测头上方时,所述的被检测部的下表面朝向所述的检测头。
优选地,工装花篮的上壁与所述的被检测部相对的位置为镂空部。
优选地,所述的轨道上与所述的检测头相对应的位置设置有用于检测对应位置当前是否有工装花篮的检测组件。
本实用新型的有益效果在于:本设计通过在工装花篮移动的路径下方设置检测头,当工装花篮经过时,其上的被检测部位于检测头的上方,检测头中的发光器发出的光束经被检测部反射后能够被检测头中的收光器接收到,进而确定工装花篮的方向正确,而当工装花篮经过检测头上方时,收光器未检测到光束,则工装花篮方向不正确,启动相应的报警,提醒操作者进行调整,该机构能够及时、高效地对工装花篮的搁置方向进行检测,进而有效提高后续插片的效率。
附图说明
附图1为本实施例的工装花篮方向检测机构的结构示意图一;
附图2为本实施例的工装花篮方向检测机构的结构示意图二;
附图3为本实施例中采用的工装花篮的结构示意图。
附图中:1、工装花篮;2、上壁;3、下壁;4、侧壁;5、挡板;6、被检测部;7、导轨;8、输送带;9、支撑板;10、检测头;11、镂空部。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型作以下详细描述:
本说明书中的上下方向为工装花篮正常正确地输送时的上下方向。
如附图1至3所示,一种硅片工装花篮方向检测机构,工装花篮1具有上壁2、下壁3、对应连接在上壁2与下壁3之间的两个侧壁4,上壁2、下壁3与两个侧壁4之间形成硅片的收纳空间,收纳空间沿平行于上壁2及侧壁4的方向上的一端为供硅片进入的敞口、另一端具有用于限定硅片的挡板5,下壁3设置有被检测部6,该检测机构设置在一输送机构上,输送机构包括供工装花篮1移动的导轨7、沿长度方向设置在导轨7内的两条同步移动的输送带8,两条输送带8相平行,工装花篮1位于两条输送带8上且能够随之移动,两条输送带8之间设置有一支撑板9,该检测机构包括设置在支撑板9上的用于检测位于其上方的工装花篮1的搁置方向是否正确的检测头10,检测头10内包括发光器和收光器,收光器连接在一检测电路中,当工装花篮1位于检测头10上方时,发光器发出的光束经被检测部6反射后被收光器接收。
进一步地,被检测部6为部分下壁3,当工装花篮1位于检测头10上方时,被检测部6的下表面朝向检测头10,工装花篮1的上壁2与被检测部6相对的位置为镂空部11,轨道上与检测头10相对应的位置设置有用于检测对应位置当前是否有工装花篮1的检测组件。
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