[实用新型]一种研磨液的双供应系统切换装置

权利要求书

1.一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：包括控制器、第一循环控制机构(1)、第二循环控制机构(2)以及连通气动阀组；

所述第一循环控制机构(1)包括第一供液器(11)和第一气动阀组；所述第一供液器(11)通过循环泵形成液体循环通路，其包括第一供液器(11)的液体出口和回流口，所述第一气动阀组包括第一气动阀(V1)和第二气动阀(V2)，所述第一供液器(11)的液体出口与第二气动阀(V2)的入口端连接，该第二气动阀(V2)的出口端通过第一管道与所述第一气动阀(V1)的入口端连通且该段第一管道上开有数个第一输出口(12)，所述第一气动阀(V1)的出口端与所述第一供液器(11)的回流口连通；

所述第二循环控制机构(2)包括第二供液器(21)和第二气动阀组，所述第二供液器(21)通过循环泵形成液体循环通路，其包括第二供液器(21)的液体出口和回流口，所述第二气动阀组包括串联连通的第九气动阀(V9)和第八气动阀(V8)，所述第九气动阀(V9)的入口端与所述第二供液器(21)的液体出口连通，所述第八气动阀(V8)的出口端与该第二供液器(21)的回流口连通，且第九气动阀(V9)和第八气动阀(V8)通过第二管道连通，该段第二管道上开有数个第二输出口(22)；

所述连通气动阀组包括第四气动阀(V4)和第七气动阀(V7)；所述第二气动阀(V2)的出口端与第九气动阀(V9)的出口端通过第四气动阀(V4)连通，所述第一气动阀(V1)的入口端与所述第九气动阀(V9)的出口端通过第七气动阀(V7)连通；

所述控制器分别与所述连通气动阀组、第一气动阀组和第二气动阀组电连接。

2.根据权利要求1所述的一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：所述第一气动阀组还包括第三气动阀(V3)，所述第二气动阀(V2)的出口端与第一气动阀(V1)的入口端之间还连有第三气动阀(V3)，所述第三气动阀(V3)的出口端通过第一管道与所述第一气动阀(V1)的入口端连通。

3.根据权利要求2所述的一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：所述第三气动阀(V3)的出口端与所述第八气动阀(V8)的入口端通过一第六气动阀(V6)连通，所述第六气动阀(V6)与控制器电连接。

4.根据权利要求1所述的一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：所述连通气动阀组还包括第五气动阀(V5)，所述第五气动阀(V5)与所述第四气动阀(V4)并排设立且第二气动阀(V2)和第九气动阀(V9)还通过该第五气动阀(V5)连通。

5.根据权利要求1所述的一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：所述第二气动阀组还包括第十气动阀(V10)，所述第九气动阀(V9)和第八气动阀(V8)之间连有所述第十气动阀(V10)，第十气动阀(V10)出口端和第八气动阀(V8)的入口端通过第二管道连通。

6.根据权利要求5所述的一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：所述第十气动阀(V10)的出口端与所述第一气动阀(V1)的入口端通过一第七气动阀(V7)连通，所述第七气动阀(V7)与所述控制器电连接。