[实用新型]一种柔性基底镀铜膜结构

说明书

技术领域

本实用新型属于镀膜领域，具体涉及一种柔性基底镀铜膜结构。

背景技术

柔性基底薄膜是指能够卷绕作为镀膜基底材料使用的薄膜，通常使用的基底薄膜均为塑料薄膜，包括聚乙烯醇薄膜(简称PVA)、聚酯亚胺薄膜(简称PI)、聚酯薄膜(简称PET)等。在柔性基底材料上镀金属薄膜，即可保留基底柔软、易弯曲等特性，还可明显改变其表面特性，赋予其各种新的功能，例如抗静电、屏蔽电磁波、纤维传感器、隔热膜、导电膜和增透膜等各种高技术与高性能的功能薄膜，广泛应用于高性能汽车贴膜、触屏幕、等离子电视和防辐射布料等各个方面。

近年来，柔性基底上沉积铜膜的制备方法主要集中在化学电镀法、真空蒸镀法和磁控溅射法，均是将铜直接沉积于柔性基底材料表面上，此种铜膜结构结合力差，铜膜易脱落。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种铜镀层结合力好、铜膜不易脱落的柔性基底镀铜膜结构。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种柔性基底镀铜膜结构，包括柔性基底、铜膜以及柔性基底与铜膜之间的过渡层，所述过渡层为蒙乃尔合金或镍铬合金。

优选地，所述蒙乃尔合金为Monel400，镍铬合金为Ni80Cr20。

优选地，所述柔性基底为聚酯薄膜或聚酰亚胺薄膜。

优选地，所述过渡层厚度为5-15nm。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的柔性基底镀铜膜结构在柔性基底和铜膜之间增加过渡层，该过渡层为蒙乃尔合金或镍铬合金，能够有效提高柔性基底与铜膜之间的结合力，使铜膜不易脱落。

附图说明

图1是本实用新型柔性基底镀铜膜结构示意图；

图2是本实用新型柔性基底镀铜膜结构镀制方式示意图。

附图标记说明：1、柔性基底；2、过渡层；3、铜膜；4、靶一；5、靶二；6、靶三；7、靶四；8、靶五；9、靶六。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明：

如图1所示，本实用新型的一种柔性基底镀铜膜结构示意图，包括柔性基底1和铜膜3， 柔性基底1与铜膜3之间具有过渡层2。柔性基底1为聚酯薄膜(PET)或聚酰亚胺薄膜(PI)。过渡层2为蒙乃尔合金或镍铬合金，蒙乃尔合金为Monel400，包括30％Cu和65％Ni，镍铬合金为Ni80Cr20，包括80％Ni和20％Cr。

如图2所示，本实用新型柔性基底镀铜膜结构的镀制采用多靶位磁控溅射镀膜机，在溅射铜层之前，先磁控溅射镀制过渡层2，该过渡层2优先采用在线方式制作。柔性基底1进入镀膜室后依次经过靶一4、靶二5、靶三6、靶四7、靶五8、靶六9等镀膜。靶一4镀制过渡层2，厚度为5-15nm，靶二5、靶三6、靶四7、靶五8、靶六9等镀制铜膜3。

下面以两个实施例对上述柔性基底镀铜膜结构及其制备过程做详细的说明。

实施例一：

一种PET基底镀铜膜，组成结构依次为：PET/NiCr/Cu，NiCr过渡层2厚度为15nm,具体为在PET基底1上依次沉积镍铬合金和铜层。

实施例二：

一种PI基底镀铜膜，组成结构依次为：PI/Monel400/Cu，Monel400过渡层2厚度为8nm,具体为在PI基底1上依次沉积Monel400和铜层。

本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本实用新型的原理，应被理解为本实用新型的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本实用新型公开的这些技术启示做出各种不脱离本实用新型实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本实用新型的保护范围内。