[实用新型]一种新型半自动翻片机有效
申请号: | 201520064682.2 | 申请日: | 2015-01-30 |
公开(公告)号: | CN204348692U | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 东莞市启天自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 523636 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 半自动 翻片机 | ||
1.一种新型半自动翻片机,包括机架(1)、横向滑轨(2)、纵向滑轨搬运机构(3)、升降抓片机构(4)、移片机构(5)、翻片机构(6)以及矫片机构(7),其特征在于:所述机架(1)通过设置于其底部的移动滚轮(11)架设于横向滑轨(2)之上并沿着横向滑轨(2)轨道横向运动,所述纵向滑轨搬运机构(3)设置于机架(1)上部,所述升降抓片机构(4)架设于纵向滑轨搬运机构(3)之上并通过固定于机架(1)侧面的气缸沿着纵向滑轨搬运机构(3)纵向运动,所述移片机构(5)设置于机架(1)内部并可以沿着升降抓片机构(4)运动方向做前后移动,所述翻片机构(6)以及矫片机构(7)依次设置于移片机构(5)内侧,所述移片机构(5)内部前后设置有两排多组晶片搁置架(51),翻片机构(6)包括一旋转轴(61)以及设置于旋转轴(61)上位置与晶片搁置架(51)对应的多组承插组件(62),所述矫片机构(7)设置于移片机构(5)后侧晶片搁置架(51)底部且通过设置于其底部的推动气缸做上下运动。
2.根据权利要求1所述的一种新型半自动翻片机,其特征在于:所述升降抓片机构(4)设置有一气缸(41),所述气缸(41)底部设置有一排多个吸盘组件(42)。
3.根据权利要求1所述的一种新型半自动翻片机,其特征在于:所述晶片搁置架(51)包括两块分开设置的横向片(511)。
4.根据权利要求1或3所述的一种新型半自动翻片机,其特征在于:所述承插组件(62)包括两块分开设置的纵向片(621),所述承插组件(62)可以承插于所述晶片搁置架(51)两块横向片(511)之间间隙处,且所述纵向片(621)两端均设置有插槽(622)。
5.根据权利要求1所述的一种新型半自动翻片机,其特征在于:所述矫片机构(7)包括多组矫片槽组件(71),所述矫片槽组件(71)是由四块托举立板合围成槽状,所述托举立板顶部设置有向槽内倾斜的斜坡。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造