[实用新型]利用旋涂法制备薄膜材料的装置有效
| 申请号： | 201520060152.0 | 申请日： | 2015-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN204544657U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 胡增鑫 | 申请（专利权）人： | 天津森普捷科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C5/00;B05C11/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 周庆路 |
| 地址： | 300000 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 法制 薄膜 材料 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用旋涂法制备薄膜材料的装置，其特征在于，包括旋转台，设置在旋转台上并可受驱动转动的基片，注射式注胶机构，喷雾式注胶机构，所述的注射式注胶机构包括旋转式第一支臂，设置在第一支臂端部下侧的注射式注胶器，所述的第一支臂可将所述的注射式注胶器定位于或者远离所述的基片的中心；所述的喷雾式注胶机构包括第二支臂，设置在所述的第二支臂端部下侧并位于基板的中心上方的喷雾式注胶器。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第一支臂和第二支臂均为由垂直杆和水平杆组成的L形支臂，所述的第二支臂的竖直杆高度可调。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述的注射式注胶器的上部与所述的第一支臂固定连接地设置有喷雾挡板。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的喷雾式注胶器为超声波雾化喷嘴、压力雾化喷嘴或静电雾化喷嘴。
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