[实用新型]一种三轴加速度传感器装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三轴加速度传感器装置。

背景技术

MEMS(Microelectro Mechanical Systems，微机电系统)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

MEMS加速度传感器，体积小，成本低廉，此类传感器被大量用于民用级惯性姿态传感器中。近年来随着半导体工艺的进步和发展，在3mm x 3mm x 1mm的体积内即可集成三轴加速度传感器，甚至在一个芯片内集成3轴角速度传感器及3轴加速度传感器。但由于工艺限制，此类MEMS加速度传感器在水平面的X方向和Y方向上的敏感度和精度均高于Z方向上的敏感度和精度，由于“木桶的短板效应”，Z轴的精度将最终决定整个姿态传感系统的精度，故，现有的MEMS加速度传感器的敏感度和精度仍有待提高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型旨在于提供一种可解决上述技术问题的三轴加速度传感器装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种三轴加速度传感器装置，其包括第一加速度传感器和第二加速度传感器；

该第一加速度传感器的X轴方向和Y轴方向位于一平面，第二加速度传感器的X轴方向或Y轴方向垂直于该平面，该第一加速度传感器的X轴方向和Y轴方向对应的数据端分别为本装置的X轴数据端和Y轴数据端，该第二加速度传感器的X方向或Y方向对应的数据端即为本装置的Z轴数据端。

优选地，该第一加速度传感器为双轴加速度传感器或三轴加速度传感器。

优选地，该第二加速度传感器为双轴加速度传感器或三轴加速度传感器。

优选地，该第一加速度传感器和第二加速度传感器采用同样型号的加速度传感器。

优选地，三轴加速度传感器装置还包括相互垂直的第一电路板和第二电路板；第一加速度传感器和第二加速度传感器分别布设于第一电路板和第二电路板上。

优选地，第一电路板和第二电路板均为印刷电路板，第二电路板的一端插接于第一电路板上。

优选地，该第一电路板和第二电路板为一体成型的柔性电路板。

优选地，本装置还包括一壳体，第一加速度传感器、第二加速度传感器、第一电路板和第二电路板均收容于该壳体内，该壳体内的其他空间均灌注有环氧树胶。

本实用新型的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的灵敏度和检测精度基本一致，从而提高整个装置的灵敏度和检测精度。

附图说明

图1为本实用新型三轴加速度传感器装置的较佳实施方式的结构示意图。

图2为本实用新型三轴加速度传感器装置的另一较佳实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述：

请参见图1，本实用新型涉及一种三轴加速度传感器装置，其较佳实施方式包括第一加速度传感器10和第二加速度传感器20。

该第一加速度传感器10的X轴方向和Y轴方向位于一平面，第二加速度传感器20的X轴方向或Y轴方向垂直于该平面，该第一加速度传感器10的X轴方向和Y轴方向对应的数据端分别为本装置的X轴数据端和Y轴数据端，该第二加速度传感器20的X方向或Y方向对应的数据端即为本装置的Z轴数据端。

如此，本三轴加速度传感器装置的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的灵敏度和检测精度基本一致，从而提高整个装置的灵敏度和检测精度。

该第一加速度传感器10可为双轴加速度传感器或三轴加速度传感器。

该第二加速度传感器20可为双轴加速度传感器或三轴加速度传感器。

优选地，该第一加速度传感器10和第二加速度传感器20采用同样型号的加速度传感器，如此，可更优化本装置的灵敏度和检测精度。

三轴加速度传感器装置还包括相互垂直的第一电路板30和第二电路板40。第一加速度传感器10和第二加速度传感器20分别布设于第一电路板30和第二电路板40上。

本实施例中，第一电路板30和第二电路板40均为印刷电路板，第二电路板40的一端插接于第一电路板30上。

其他实施例中，该第一电路板30和第二电路板40为一体成型的柔性电路板。

当然，参见图2，本装置也可仅包括一刚性电路板，第一加速度传感器10和第二加速度传感器20均布设于该刚性电路板上。