[实用新型]一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。

背景技术

蓝宝石(AL2O3)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。

作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括片面度，平行度达到0.005mm,光洁度达到0.5nm。

传统单面抛光机如图1所示，主要包括1-气缸，2-上盘，3-工件，4-下磨盘，5-机架，6-驱动，7-主轴，其原理是被加工件3贴合在上盘盘面上，上盘2和下盘4以相同的方向转动，工件3的下表面就与下盘4均匀的摩擦。利用这种原理可以对工件的表面进行化学机械抛光。传统单面抛光机的上磨盘不带驱动，或带有独立驱动的结构不够完美，导致成本过高，或者清洗不便。

实用新型内容

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括：

支撑架，所述支撑架上部安装有气缸，所述支撑架中部设有连接体，所述支撑架下部安装有轴承座一，所述轴承座一上安装有主轴；

所述连接体上安装有电机安装板与轴承，所述电机安装板上安装有电机，所述电机的主轴上安装有主动齿轮；

所述主轴上部安装有与所述主动齿轮相配合的被动齿轮，所述主轴中部套有滚子轴承，所述主轴下部套固有连接盘，所述连接盘下部安装有轴承座二，所述连接盘与所述轴承座二之间的空隙处安装有键块，所述轴承座二内部安装有调心轴承，所述轴承座二下端安装有上磨盘。

作为本实用新型进一步改进，所述气缸上的气缸杆与所述连接体相连。

作为本实用新型进一步改进，所述轴承内圈与所述主轴通过锁紧螺母一固定，所述连接体与所述轴承外圈通过所述电机安装板压固。

作为本实用新型进一步改进，所述主轴与所述调心轴承的内圈通过锁紧螺母二固定；所述轴承座二与所述调心轴承的外圈通过端盖压固。

本实用新型的有益效果为：结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。

附图说明

图1为现有传统单面抛光机的结构示意图；

图2为本实用新型一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置的结构示意图。

图2中：1、支撑架；2、连接体；3、电机安装板；4轴承；5、被动齿轮；6、主动齿轮；7、轴承座一；8、主轴；9、连接盘；10、调心轴承；11、上磨盘；12、锁紧螺母二；13、端盖；14、键块；15、轴承座二；17、电机；18、锁紧螺母一；19、气缸。

具体实施方式

如图2所示，本实用新型实施例所述的一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括：支撑架1，所述支撑架1上部安装有气缸19，所述支撑架1中部设有连接体2，所述支撑架1下部安装有轴承座一7，所述轴承座一7上安装有主轴8；所述连接体2上安装有电机安装板3与轴承4，所述电机安装板3上安装有电机17，所述电机17的主轴上安装有主动齿轮6；所述主轴8上部安装有与所述主动齿轮6相配合的被动齿轮5，所述主轴8中部套有滚子轴承16，所述主轴8下部套固有连接盘9，所述连接盘9下部安装有轴承座二15，所述连接盘9与所述轴承座二15之间的空隙处安装有键块14，所述轴承座二15内部安装有调心轴承10，所述轴承座二15下端安装有上磨盘11，所述气缸19上的气缸杆与所述连接体2相连。所述轴承4内圈与所述主轴8通过锁紧螺母一18固定，所述连接体2与所述轴承4外圈通过所述电机安装板3压固。所述主轴8与所述调心轴承12的内圈通过锁紧螺母二12固定；所述轴承座二15与所述调心轴承12的外圈通过端盖13压固。结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。