[实用新型]阴极挡板以及电镀装置

权利要求书

1.一种阴极挡板，其特征在于，包括主挡板，主挡板设有通孔区域，通孔区域上均匀地设有多个通孔，通孔的孔径为5～12mm，多个通孔的总面积为通孔区域的面积的2/3～4/5。

2.根据权利要求1所述的阴极挡板，其特征在于，所述阴极挡板还包括用于遮挡所述通孔区域的第一挡块、第二挡块、第三挡块、第四挡块，第一挡块、第二挡块可纵向移动地设于所述主挡板的一侧面并对应地位于所述主挡板的纵向两端，第三挡块、第四挡块可横向移动地设于所述主挡板的另一侧面并对应地位于所述主挡板的横向两端。

3.根据权利要求2所述的阴极挡板，其特征在于，所述主挡板的一侧面设有位于其纵向一端的两第一调节柱以及位于其纵向另一端的两第二调节柱，所述第一挡块设有纵向设置并对应于两第一调节柱的两调节槽，所述第一挡块的两调节槽可调节地卡在两第一调节柱上，所述第二挡块设有纵向设置并对应于两第二调节柱的两调节槽，所述第二挡块的两调节槽可调节地卡在两第二调节柱上。

4.根据权利要求3所述的阴极挡板，其特征在于，所述两第一调节柱对应地位于所述通孔区域的横向两侧，所述两第二调节柱对应地位于所述通孔区域的横向两侧。

5.根据权利要求2所述的阴极挡板，其特征在于，所述主挡板的另一侧面设有位于其横向一端的两第三调节柱以及位于其横向另一端的两第四调节柱，所述第三挡块设有横向设置并对应于两第三调节柱的两调节槽，所述第三挡块的两调节槽可调节地卡在两第三调节柱上，所述第四挡块设有横向设置并对应于两第四调节柱的两调节槽，所述第四挡块的两调节槽可调节地卡在两第四调节柱上。

6.根据权利要求5所述的阴极挡板，其特征在于，所述两第三调节柱对应地位于所述通孔区域的纵向两侧，所述两第四调节柱对应地位于所述通孔区域的纵向两侧。

7.一种电镀设备，其特征在于，包括电镀槽以及2N个权利要求1至6任意一项所述的阴极挡板，N为正整数，2N个阴极挡板置于所述电镀槽中。

8.根据权利要求7所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备还包括置于所述电镀槽中的副槽，副槽的第一槽壁上设有N个过渡开口，副槽的第二槽壁上设有N个过渡开口，第一槽壁的N个过渡开口与第二槽壁的N个过渡开口一一相对，所述阴极挡板设于副槽上并一一对应地遮盖过渡开口。

9.根据权利要求8所述的电镀设备，其特征在于，N＝4。