[实用新型]一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵。

背景技术

目前，微流控中泵被广泛的使用在流体微流量的输送工作中，但是现有的微流控中泵的体积较大，而且输送的单位流量也太大，无法满足现代的工业的要求。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术的上述不足，提出了一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵，包括第一SI基体和与第一SI基体叠合的第二SI基体；所述第二SI基体的中部设有一个贯穿自身的工作腔，且第二SI基体上表壁上沿长度方向开有与所述工作腔相连通的入料通道和出料通道；所述工作腔的下端口上密封固定着一柔性厚膜，该柔性厚膜的中部固定着一磁致伸缩薄膜，所述第二SI基体的下端面上表贴着一螺旋状的工作线圈，所述磁致伸缩薄膜处于所述工作线圈的内圆范围内；所述工作线圈连接着交流电路，该磁致伸缩薄膜在工作线圈通电后而上下振动，从而带动柔性厚膜改变工作腔的内腔体积大小，进而实现流体从而从入料通道流入到工作腔内并从出料通道排出。

进一步地，所述入料通道的侧壁设有防止流体逆流的逆流阀体，所述逆流阀体呈鸭嘴状安装在入料通道的两边侧壁上。

进一步地，所述第一SI基体和第二SI基体为大小相同的方形体。

进一步地，所述工作腔为圆形，所述入料通道和出料通道都为梯形。

进一步地，所述磁致伸缩薄膜采用稀土超磁致伸缩材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的设计新颖巧妙，第二SI基体设计的工作腔，结合腔口上的柔性厚膜使工作腔内部形成一个密闭的容置腔，而柔性厚膜上的磁致伸缩薄膜相当一个磁性体，在工作线圈通入一定频率的交流电后，就在磁致伸缩薄膜上产生一个方向变化的磁场，从而使得磁致伸缩薄膜将发生振动，并带动着柔性薄膜也将随之一起上下振动，从而引起工作腔体内体积的变化，在柔性薄膜向上运动时，工作腔体内体积减小，将腔内流体通过出料通道向外排液；当柔性薄膜向下运动时，腔体内体积增大，流体将从入料通道吸入腔体内，于是实现了流体的泵出及吸入，由于在入料通道设有单向阀体，所以在泵出流体时，流体不会在入料通道上逆流，整个结构简单，适合大规模的加工生产，而且能够输出比传统的微流控中泵更小排量的流体，适用范围广，且整个结构的体积小，占用空间小，安装方便，更加适应于现代工业加工的要求。

附图说明

图1为本实用新型的第一立体结构示意图；

图2为本实用新型的第二立体结构示意图；

图3为本实用新型的截面图；

图4为本实用新型的底面结构图；

图5为本实用新型的逆流阀体的安装示意图；

图6为本实用新型的吸入流体的工作示意图；

图7为本实用新型的挤出流体的工作示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对实用新型进行详细的说明。

如图1至5所示，本实用新型提出的基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵，包括第一SI基体1和第二SI基体2，第一SI基体1和第二SI基体2通过MEMS工艺制成相叠合的结构。且第一SI基体1和第二SI基体2为大小相同的方形体。

第二SI基体2的中部设有一个贯穿自身的工作腔21，且第二SI基体2上表壁上沿长度方向开有与工作腔21相连通的入料通道22和出料通道23，工作腔21、入料通道22和出料通道23都是采用MEMS工艺进行刻蚀形成。入料通道22的侧壁设有防止流体逆流的逆流阀体6，逆流阀体6呈鸭嘴状安装在入料通道的两边侧壁上。

而在具体的实施中，出料通道23也安装有逆流阀体，防止流体从出料通道23内回流到工作腔内，而在入料通道22上的逆流阀体6能够防止流体从工作腔回流到入料通道22内，保证了吸入和泵出在一个单向上。

工作腔21的下端口也就是背对这第一SI基体的腔口上密封固定着一柔性厚膜3，柔性厚膜3的中部固定着一磁致伸缩薄膜4，磁致伸缩薄膜4采用稀土超磁致伸缩材料制成，自身为一个磁体。

工作腔21为圆形，入料通道22和出料通道23都为梯形。第二SI基体2的下端面上表贴着一螺旋状的工作线圈5，磁致伸缩薄膜4处于工作线圈5的内圆范围内，柔性厚膜上的磁致伸缩薄膜相当一个磁性体，在工作线圈通入一定频率的交流电后，就在磁致伸缩薄膜上产生一个方向变化的磁场，从而使得磁致伸缩薄膜将发生振动，并带动着柔性薄膜也将随之一起上下振动，从而引起工作腔体内体积的变化，进而实现流体从而从入料通道22流入到工作腔内并从出料通道23排出。