[实用新型]三自由度操控平台

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及集成电路测试领域，尤其是涉及一种三自由度操控平台。

【背景技术】

现有技术中三自由度控制平台(Manipulator)主要包括升降机构、翻转机构、测试头固定机构以及测试头，测试头通过测试头固定机构固定在翻转机构上，翻转机构固定在升降机构上。

翻转机构作为主要部分，负责实现三自由度操控平台(Manipulator)的三自由度翻转。所述翻转机构模组包括多个机构，每个机构负责完成不同的功能，如：上下升降、水平翻转、垂直翻转等。

现有技术中的升降机构一般采用丝杆，问题是升降调节速度慢，调节方式不方便，行程短，没有锁定装置，没有缓冲安全装置；

翻转机构一般只有抱臂式双轴，问题是只能实现上下翻转，没有水平和垂直翻转，不能实现三自由度任意调节。

现有技术中升降机构还有采用承重、升降调节皮带、固定滑轮、滑轨装置以及锁定装置组成的方式，问题是这样的升降机构组成方式结构复杂，体积大，运输不便，成本昂贵。

因此，实有必要提供一种新的技术方案以克服上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种三自由度操控平台，可以满足测试头在上下左右及三个方位的任意角度和位置与外部的探针台或机械手对接的需求，提高对接精度和速度，并且还可以有效缩短测试信号线的长度。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种三自由度操控平台，其包括升降机构、翻转机构、测试头固定机构和测试头，所述翻转机构安装于所述升降机构上，所述测试头通过所述测试头固定机构安装于所述翻转机构上，所述翻转机构包括水平转动部件和垂直转动部件，所述水平转动部件转动时带动所述垂直转动部件和所述测试头一起做水平转动，所述垂直转动部件转动时带动所述测试头做垂直转动，所述升降机构包括滑轨、与所述滑轨配合的滑块、升降锁定装置和与所述滑块相连的气压杆，所述滑块在所述滑轨上滑动时，所述气压杆做伸长或缩短运动，当所述滑块滑动到预定位置时，所述升降锁定装置将所述滑块在预定位置锁定。

优选的，所述升降锁定装置包括分度销和与所述分度销配合的分度销插板，所述分度销插板上设置有分度销插孔。

优选的，所述水平转动部件包括两个单轴水平180度转动部件，所述垂直转动部件为单轴垂直360度转动部件。

优选的，所述翻转机构作为一个整体固定在所述滑块上。

优选的，所述翻转机构在所述滑轨上升降的行程在800毫米至1200毫米高度范围内。

优选的，所述水平转动部件包括水平转动锁定装置，当所述水平转动部件水平转动到预定位置时，所述水平转动锁定装置将所述水平转动部件锁定。

优选的，所述垂直转动部件包括垂直转动锁定装置，当所述垂直转动部件垂直转动到预定位置时，所述垂直转动锁定装置将所述垂直转动部件锁定。

优选的，所述水平转动锁定装置包括分度销和与所述分度销配合的分度销插板，所述分度销插板上设置有分度销插孔。

优选的，所述垂直转动锁定装置包括分度销和与所述分度销配合的分度销插板，所述分度销插板上设置有分度销插孔。

优选的，所述测试头是单个测试头，或者连接一个测试系统。

本实用新型具有以下优点：

1、弃用丝杆升降和皮带轮的方式，提高了升降操作时的灵活度和平滑度以及升降运动速度，有效改善了丝杆升降时产生的抖动和皮带轮带来的操作费力。

2、可实现有效升降行程内任意高度的预定位置的准确定位，提高了操作精度。

3、水平方向180度内转动，增大了使用面积，可减少平台的移动。

4、垂直方向360度内转动，增加了分度销精确定位方式和轴承配合方式，可实现定位准确、运动灵活的操作，应用更加方便。

5、升降机构与翻转机构配合，可以满足测试头在上下左右以及三个方位的任意角度和位置与外部的探针台(Prober)或机械手(Handler)对接的需求，提高对接精度，并且还可以有效缩短测试信号线的长度。

6、结构简单，价格低廉。

【附图说明】

图1为本实用新型提供的三自由度操控平台示意图。

【具体实施方式】