[实用新型]消杂光双光路光学定中仪有效
| 申请号: | 201520034272.3 | 申请日: | 2015-01-19 |
| 公开(公告)号: | CN204405031U | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
| 发明(设计)人: | 刘为森;徐敏;王军华 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
| 主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01M11/02 |
| 代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
| 地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 消杂光双光路 光学 定中仪 | ||
1.一种消杂光双光路光学定中仪,其特征在于由光电探测器(1)、自准直仪(2)、起偏器(3)、偏振分束器(4)、三个平面反射镜(5、13、14)、三个检偏器(6、7、8)、两个近距离变焦望远镜(9、10)、空气轴承转台(12)、圆度仪(15)、计算机平台(16)组成;所述自准直仪用于提供携带十字像信号的平行光,至起偏器(3)产生线偏振光,并由偏振分束器(4)产生偏振方向相互垂直的S光和P光;S光经过第一检偏器(6)、第二检偏器(7)并由第二近距离变焦望远镜(10)聚焦在固定在空气轴承转台(12)上的待测光学部件(11)所测镜片上表面的曲率中心;P光由第一平面反射镜(5)反射经过第三检偏器(8)并由第一近距离变焦望远镜(9)聚焦在所测镜片下表面曲率中心;S光和P光由所测镜片上下表面反射,并由光电探测器(1)摄取反射光的十字像信号,计算机平台(16)计算分析所测镜片的中心偏差,根据镜片中心偏差调整镜片进行校正定中;圆度仪(15)用于检测待测光学部件(11)的镜筒与空气轴承转台(12)的同轴性。
2.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于所述光电探测器为CCD、CMOS或其它光电探测器。
3.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于所述起偏器为偏振片或尼科耳棱镜;所述起偏器将自然光变为线偏振光,通过旋转该起偏器改变反射S光和透射P光的光强比。
4.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于所述检偏器为偏振片;反射S光和透射P光光路的检偏器正交,且上述检偏器透振方向分别与S光和P光偏振方向相同;通过待测光学部件的反射S光不能通过透射P光光路中的检偏器,同理通过待测光学部件的反射P光也不能通过透射S光光路中的检偏器。
5.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于所述空气轴承转台有通光孔,并有调平调心载物台,载物台用于固定待测光学部件。
6.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于所述计算机平台用于分析光电探测器十字像信号,计算待测光学部件所测表面的中心偏差和处理圆度仪检测结果。
7.根据权利要求1所述的消杂光双光路光学定中仪,其特征在于反射S光和透射P光均使用空气轴承转台旋转轴作为参考轴。
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