[实用新型]一种蓝宝石单晶炉有效
申请号: | 201520031568.X | 申请日: | 2015-01-16 |
公开(公告)号: | CN204434766U | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 徐永亮;张国华;吴智洪 | 申请(专利权)人: | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉,其特征在于,包括:
炉体,所述炉体中设置有加热部件、温度测量装置和坩埚,
炉体盖,所述炉体盖设置在所述炉体上,所述炉体盖上开设有观察窗口,
籽晶轴,所述籽晶轴设置在所述炉体盖上,并通过籽晶轴升降装置控制升降,
控制装置,所述控制装置控制所述籽晶轴升降装置,
影像装置,所述影像装置包括图像处理装置和摄像装置,所述摄像装置对准所述观察窗口,所述图像处理装置与所述摄像装置连接,所述控制装置与所述影像装置连接,
温度控制装置,所述温度测量装置与所述温度控制装置连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述影像装置为CCD影像装置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,还包括第一驱动装置,
所述观察窗口包括第一盖板和开设在所述炉体盖上的观察窗体,所述第一盖板与所述观察窗体配合使用,
所述第一驱动装置驱动所述第一盖板旋转。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述第一驱动装置包括电机和转轴,所述电机驱动所述转轴旋转,所述第一盖板固定在所述转轴上。
5.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述第一盖板为钨盖板或者钼盖板。
6.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述炉体盖上还设置有限制所述第一盖板转动位置的第一限位装置。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述炉体盖上还开设有通孔,所述籽晶轴从所述通孔中插入所述炉体,所述通孔处设置有第二盖板。
8.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置包括电机和转轴,所述电机驱动所述转轴旋转,所述第二盖板固定在所述转轴上。
9.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述炉体盖上还设置有用于检测所述第二盖板是否盖住所述通孔的检测装置。
10.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉,其特征在于,所述炉体盖上还设置有限制所述第二盖板转动位置的第二限位装置。
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