[实用新型]一种冷却喷淋自动启停机构

说明书

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，特别是涉及一种冷却喷淋自动启停机构。

背景技术

使用金刚线设备进行硅片切片加工时，需要喷淋冷却液进行冷却和润滑，由于冷却液含有乳化剂、表面活性剂等成分，在高速切割过程中，会由于冲击作用产生大量泡沫，影响冷却液流量稳定性。

为避免双向切割时，未参与冷却一侧冷却液被直接甩出，需要进行左右喷液自动启停。

可能的解决方向有机械控制和电子控制两种。

前者采用机械结构控制，以截流的思路进行设计，不对管道压力和幕帘形成影响，只在使用端进行截流和放行切换，简单可靠。

后者采用三通电磁阀门来实现，使得未使用侧瞬间关停，使用侧快速稳定喷淋，由于左右切换频率高，在切换过程存在管道压力变化的问题，可能引起供应泵因阻力波动大而寿命衰减，同时开启侧的喷淋幕帘也无法快速形成稳定状态。

发明内容

本实用新型目的在于针对金刚线双向切割过程中，未使用侧的冷却液被线网甩出形成大量泡沫，影响冷却液流量，最终影响切割加工品质的问题，提供一种机械式冷却喷淋自动启停机构。

本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：

一种冷却喷淋自动启停机构，用于硅片切割设备，其特征在于：其包括设置在两个主辊上方的平衡框架，分别设置在两个主辊外侧的两块触发挡板，设置在冷却液喷管前方截流挡板；所述平衡框架在主辊轴向设置有枢轴，可绕枢轴左右摆动；所述触发挡板一端与平衡框架的一侧相连接，用于感受冷却液的冲击，并带动平衡框架绕枢轴倾斜；所述截流挡板固定在平衡框架的一侧，平衡框架向一侧倾斜时，同侧的截流挡板封住冷却液喷管的下沿，将冷却液导向非工作区。

其进一步特征在于：所述平衡框架为矩形，所述枢轴设置在垂直于主辊轴线两条边的中心位置，所述两块触发挡板和两块截流挡板分别设置在平衡框架平行于主辊轴线的两条边上。

进一步的：所述触发挡板包括触发器和连接杆，所述连接杆连接平衡框架和触发器，所述触发器用于感受冷却液的冲击。

优选的：所述触发器为L形截面挡板，其宽度小于主辊长度。

所述截流挡板为U形截面的沟槽。

本实用新型结构简单可靠，在原有设备基础上进行简单改造加装即可使用，并且不会对原有设备的电子、动力设备产生任何干扰，同时达到了消除未使用侧冷却液甩出飞溅的情况，减弱了冷却液富泡化的缺陷，使得切割加工稳定。

附图说明

图 1 为本实用新型正视示意图。

图 2 为本实用新型俯视示意图。

图 3 为本实用新型一种工作状态示意图。

图 4 为本实用新型一种工作状态下冷却液流向示意图。

图 5 为本实用新型另一种工作状态示意图。

图 6 为本实用新型另一种工作状态下冷却液流向示意图。

具体实施方式

如图1、2所示，一种冷却喷淋自动启停机构，用于硅片切割设备，其包括设置在两个主辊4上方的矩形平衡框架1，分别设置在两个主辊4外侧的两块触发挡板2，设置在冷却液喷管5前方截流挡板3。所述平衡框架1在垂直于主辊4轴线两条边的中心位置设置有枢轴11，可绕枢轴11左右摆动。所述两块触发挡板2和两块截流挡板3分别设置在平衡框架1平行于主辊4轴线的两条边上。所述触发挡板2一端与平衡框架1的一侧相连接，用于感受冷却液的冲击，并带动平衡框架1绕枢轴11倾斜；所述截流挡板3固定在平衡框架1的一侧，平衡框架1向一侧倾斜时，同侧的截流挡板3封住冷却液喷管5的下沿，将冷却液导向非工作区。

所述触发挡板2包括触发器22和连接杆21，所述连接杆21连接平衡框架1和触发器22，所述触发器22用于感受冷却液的冲击。所述触发器22为L形截面挡板，其宽度小于主辊长度。所述截流挡板3为U形截面的沟槽。

如图1、2所示，在未使用状态，平衡框架1趋于左右平衡。如图3、4所示，切割开始后，冷却液未使用端会由于线网高速运转导致冷却液甩出，冲击该侧触发挡板2，使得整体框架1向该侧倾斜，截流挡板3接住冷却液喷管5的冷却液，触发挡板2不再受到冲击，由于截流挡板3内的液体重力作用维持住整个机构的倾斜状态。如图5、6所示，直到切割换向后，另一侧冷却液甩出，平衡框架1被另一个触发挡板2触发倾斜向另一侧，另一侧的截流挡板3接住另一侧冷却液喷管5的冷却液，另一侧触发挡板2不再受到冲击，整个机构进入另一个方向的倾斜状态。如此循环往复。