[实用新型]一种OLED关键工序间基板切换装置

权利要求书

1.一种OLED关键工序间基板切换装置，其特征在于：包括可移动的密封腔体(1)以及设于密封腔体(1)内部的圆柱坐标机器人一(2)、圆柱坐标机器人二(3)、用于放置OLED基板的卡匣(4)和翻转机构，所述卡匣(4)安装在翻转机构的输出端上，圆柱坐标机器人一(2)和圆柱坐标机器人二(3)分别位于卡匣(4)的两侧。

2.根据权利要求1中所述的基板切换装置，其特征在于：所述翻转机构包括电机(51)，电机(51)的输出端与卡匣(4)固定连接。

3.根据权利要求2所述的基板切换装置，其特征在于：所述密封腔体(1)的两端设有可开合的闸门。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板切换装置，其特征在于：所述圆柱坐标机器人一(2)包括可升降和旋转的转动轴一(21)、安装在转动轴一(21)上端的基板一(22)以及滑动安装在基板一(22)上表面的叉臂一(23)，叉臂一(23)的上表面设有真空吸盘。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的基板切换装置，其特征在于：所述圆柱坐标机器人二(3)包括可升降和旋转的转动轴二(31)、安装在转动轴二(31)上端的基板二(32)以及滑动安装在基板二(32)下表面的叉臂二(33)，叉臂二(33)的下表面设有真空吸盘。

6.根据权利要求5所述的基板切换装置，其特征在于：所述真空吸盘与真空源相连。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的基板切换装置，其特征在于：所述密封腔体(1)上设有与氮气源相连的控制阀(11)。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的基板切换装置，其特征在于：还包括可移动的小车(5)，密封腔体(1)放置在小车(5)上并可随小车(5)一起移动。

9.根据权利要求8所述的基板切换装置，其特征在于：所述小车(5)为AGV小车。