[实用新型]具有等离子处理功能的手套箱有效
| 申请号： | 201520025194.0 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN204382305U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李春风 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02;H01J9/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 等离子 处理 功能 手套 | ||
【权利要求书】：
1.具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体和过渡仓，其特征在于，所述过渡仓的内壁上固定设置有至少一等离子源，所述过渡仓上还设置有连通所述过渡仓内部的至少一开口或管路，所述开口或管路连接工作气气源，用于向所述过渡仓内输入清洗所需的工作气，所述过渡仓还连接真空泵，所述真空泵将所述过渡仓进行抽真空处理。
2.根据权利要求1所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述过渡仓内还设置有托盘，其位于所述等离子源的下方。
3.根据权利要求2所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述开口或管路、以及所述真空泵设置连接位于所述托盘下方的所述过渡仓的外壁上。
4.根据权利要求1-3任一所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述过渡仓内设置有腔体，所述等离子源设置于所述腔体内，所述开口或管路、以及所述真空泵同时连通所述腔体。
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