[实用新型]一种新型合成防爆炉除尘装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种除尘装置，尤其涉及一种新型合成防爆炉除尘装置。

背景技术

半导体砷化镓合成工艺中，需将装有砷和镓的石英管放入合成炉内，每根石英管单独一个腔室，每个炉腔两头均为敞开式，合成炉外为集尘室也即防爆室，石英管内晶体合成后，石英管爆开，其中没完全合成的砷和镓以粉尘方式爆出，由于瞬间爆发力被排出炉腔，在压强差的作用下，经集尘室排出，最后通过集尘室口端的布袋除尘室收集，防止有毒气体外排。常规的合成炉防爆装置外侧集尘室空间较大，粉尘气体爆出后易沾附在集成式内壁上。由于因各个合成炉的石英管爆开存在的时间差，爆开后各腔室之间相互连通，粉尘气体相互影响，在腔室之间形成回流，造成粉尘收集难度高、收集率低等问题。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种新型合成防爆炉除尘装置。

一种新型合成防爆炉除尘装置包括布袋除尘室、防爆室、泄压管路、泄压阀、缓冲室和合成炉；合成炉左、右两侧开口分别与缓冲室、泄压阀、泄压管路、防爆室、布袋除尘室顺次连接。

所述的缓冲室形状为柱体。

所述的缓冲室形状为锥体。

所述的合成炉数量x≥1，与其顺次连接的缓冲室、泄压阀、泄压管路数量y =2x，防爆室数量z=2,布袋除尘室数量k≥2。

所述的合成炉数量x≥1，与其顺次连接的缓冲室、泄压阀、泄压管路数量y =2x，防爆室数量z=1, 布袋除尘室数量k≥1。

所述的合成炉通过组架固定排列成直线。

所述的合成炉通过组架固定排列成圆形。

使用本实用新型，解决了现有防爆炉除尘装置因各个合成炉的石英管爆开存在的时间差，造成爆开后各腔室之间相互连通，粉尘气体相互影响，在腔室之间形成回流，粉尘收集难道高、收集率低等问题。本实用新型采用多级降压设计，降低收集粉尘压力；设有泄压阀，提高工艺安全性；合成炉左右两侧各设有单独防爆室，避免粉尘回流到其他炉腔。其具有使用方便、结构合理，收集效率高，改装方便等优点。

附图说明

图1为一种新型合成防爆炉除尘装置一结构示意图；

图2为一种新型合成防爆炉除尘装置另一结构示意图；

图3为一种新型合成防爆炉除尘装置合成炉一固定排列示意图；

图4为一种新型合成防爆炉除尘装置合成炉另一固定排列示意图；

图中，布袋除尘室1、防爆室2、泄压管路3、泄压阀4、缓冲室5和合成炉6。

具体实施方式

如图1、2所示，一种新型合成防爆炉除尘装置包括布袋除尘室1、防爆室2、泄压管路3、泄压阀4、缓冲室5和合成炉6；合成炉6左、右两侧开口分别与缓冲室5、泄压阀4、泄压管路3、防爆室2、布袋除尘室1顺次连接。

一种新型合成防爆炉除尘装置的缓冲室5形状为柱体。

一种新型合成防爆炉除尘装置的缓冲室5形状为锥体。

一种新型合成防爆炉除尘装置的合成炉6内壁设有不光滑的凸点，减小石英管爆裂经内壁反射出去的气流压力。

如图1所示，一种新型合成防爆炉除尘装置的合成炉6数量x≥1，与其顺次连接的缓冲室5、泄压阀4、泄压管路3数量y =2x，防爆室2数量z=2,布袋除尘室1数量k≥2。

如图2所示，一种新型合成防爆炉除尘装置的合成炉6数量x≥1，与其顺次连接的缓冲室5、泄压阀4、泄压管路3数量y =2x，防爆室2数量z=1, 布袋除尘室1数量k≥1。

如图3所示，一种新型合成防爆炉除尘装置的合成炉6通过组架固定排列成直线。

如图4所示，一种新型合成防爆炉除尘装置的合成炉6通过组架固定排列成圆形。

一种新型合成防爆炉除尘装置的除尘方法包括以下步骤：

1）将多个石英管依次放入各个合成炉6的炉腔中，关闭所有泄压阀4；

2）合成炉6之间爆破存在时间差，爆开后粉尘从两侧爆出，打开合成炉6腔两侧的泄压阀4，粉尘通过泄压管路3进入防爆室2；

3）防爆室上部设有至少一个布袋除尘室，用于收集逸出粉尘气体，防止有毒有害物质逸出；

4）收集粉尘筛分，再次利用，节约生产成本。